“一個國家、一個民族，要想在世界上真正立足并贏得國際社會的尊重，必須占據(jù)高科技領(lǐng)域的陣地，一定要把核心技術(shù)掌握在自己手中?！敝袊こ淘涸菏俊⑽靼步煌ù髮W(xué)精密工程研究所所長蔣莊德說。

多年來，蔣莊德心懷“制造強國”目標(biāo)，夙興夜寐，埋頭苦干，幾十年如一日致力于微納制造與先進傳感技術(shù)、精密和超精密加工與測試技術(shù)及裝備等方面的研究，在高端MEMS傳感技術(shù)及核心芯片、數(shù)字化精密測量與超精密加工技術(shù)及裝備的工程科技領(lǐng)域取得了突出成就，在微納米技術(shù)相關(guān)基礎(chǔ)理論和生物檢測技術(shù)及儀器等方面開展創(chuàng)新性研究。他先后獲得國家技術(shù)發(fā)明獎二等獎2項、國家科技進步獎二等獎2項，并榮獲2014年何梁何利基金科學(xué)與技術(shù)進步獎、2017年首屆全國創(chuàng)新爭先獎和2020年第十三屆光華工程科技獎。

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本期推出 中國工程院院士、西安交通大學(xué)教授 蔣莊德

“一個國家、一個民族，要想在世界上真正立足并贏得國際社會的尊重，必須占據(jù)高科技領(lǐng)域的陣地，一定要把核心技術(shù)掌握在自己手中?！敝袊こ淘涸菏?、西安交通大學(xué)精密工程研究所所長蔣莊德說。

多年來，蔣莊德心懷“制造強國”目標(biāo)，夙興夜寐，埋頭苦干，幾十年如一日致力于微納制造與先進傳感技術(shù)、精密超精密加工與測試技術(shù)及裝備等方面的研究，在高端MEMS傳感技術(shù)及核心芯片、數(shù)字化精密測量與超精密加工技術(shù)及裝備的工程科技領(lǐng)域取得了突出成就，在微納米技術(shù)相關(guān)基礎(chǔ)理論和生物檢測技術(shù)及儀器等方面開展創(chuàng)新性研究。先后獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎2項、國家科技進步二等獎2項，并榮獲2014年何梁何利基金科學(xué)與技術(shù)進步獎、2017年首屆全國創(chuàng)新爭先獎，2020年第十三屆光華工程科技獎。

“現(xiàn)在回過頭來看，開始做的那些基礎(chǔ)性研究非常重要”

上世紀(jì)90年代初，MEMS（微機電系統(tǒng)）和納米技術(shù)成為世界高新科技競爭的制高點。

“當(dāng)時美國通過半導(dǎo)體工藝做出硅基的靜電式微電機，這是一個劃時代的變革，給了我很大的震動。傳統(tǒng)制造模式中，機電產(chǎn)品由分離式器件組裝而成，存在一定的加工周期，而通過半導(dǎo)體工藝，可以一次性、大批量地制備出微型機械、電子器件和系統(tǒng)?！笔Y莊德回顧說。正是敏銳地意識到了這一發(fā)展趨勢以及其廣闊的前景，1993年，他率先向?qū)W校提交了《關(guān)于立即開展納米技術(shù)和微型機械研究的報告》，請求盡快開展這方面研究。

作為機械、電子等學(xué)科的交叉領(lǐng)域，MEMS和納米技術(shù)研究當(dāng)時在國內(nèi)屬于新興領(lǐng)域。開展這項研究，他們沒有任何基礎(chǔ)，基本處于無資金、無人員、無專業(yè)實驗室的“三無”狀態(tài)。當(dāng)時，在科研經(jīng)費緊張的情況下，學(xué)校撥了兩萬塊錢作為啟動資金，支持蔣莊德開展探索性研究。

那是一段難忘的艱苦歲月。蔣莊德花了8000多元從微電子企業(yè)購置了五臺二手設(shè)備，把辦公室窗戶用黑布一蒙，搭了一個簡易暗室，帶著幾個研究生就干起來了。面對這一陌生領(lǐng)域，他們從最底層、最基礎(chǔ)的研究做起，邊學(xué)邊做，每天除了上課就泡在實驗室，在非常有限的條件下，一遍遍反復(fù)實驗。也是從那時候開始，蔣莊德開始了和姚熹院士團隊長達30余年的合作。為研制MEMS器件，經(jīng)常在姚團隊30平方米的超凈實驗室一做就是一兩個月，最終成功研制出分度圓直徑為300微米的硅基漸開線齒輪和陣列式硅微傳感器。

隨著研究前景的日漸明晰，蔣莊德獲得了越來越多的支持：國家自然科學(xué)基金、國防青年基金、國家重點實驗室基金、教育部博士點基金……1995年，在學(xué)校支持下，團隊從中科院化學(xué)所購置了掃描隧道顯微鏡（STM）、計算機等儀器設(shè)備，終于擁有了一個50平方米的超凈實驗室。隨后，在學(xué)校的支持下建成了當(dāng)時國內(nèi)高校最大的3000平方米超凈實驗室。實驗室硬件建設(shè)的改善提高，令蔣莊德在MEMS和納米技術(shù)領(lǐng)域的研究如虎添翼。