近日，由中國計量協(xié)會主辦，上海市計量協(xié)會、江蘇省儀器儀表學(xué)會聯(lián)合承辦的首屆計量儀器裝備展（2024）（以下簡稱“計量展”）在蘇州國際博覽中心舉行。本屆展會以“計量支撐新質(zhì)生產(chǎn)力”為主題，展出總面積達到1萬平方米，吸引了近300家國家產(chǎn)業(yè)計量測試中心、計量技術(shù)機構(gòu)及國內(nèi)外高端儀器儀表企業(yè)參展，展出了1500余類計量新產(chǎn)品、新裝備與新技術(shù)。

物理科學(xué)與工程學(xué)院集中展示了直接溯源型納米長度和角度標準物質(zhì)（已獲批5項國家一級標準物質(zhì)）、晶圓級標準片、直接溯源型光柵干涉儀及計量型原子力顯微鏡等多項研究成果。學(xué)院自主研制的直接溯源長度標準物質(zhì)準確度達到0.001nm量級（相當(dāng)于頭發(fā)絲的六千萬分之一），正交角度標準物質(zhì)準確性達到0.001°量級（相當(dāng)于把蛋糕按扇形均分成三十六萬份），這其中就包括了我國首個納米角度標準物質(zhì)。在直接溯源型光柵的基礎(chǔ)上，學(xué)院研究團隊還發(fā)明了具有直接溯源特性及良好魯棒性的光柵干涉儀，能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級精度位移測量。展會期間，同濟大學(xué)的創(chuàng)新成果吸引了眾多參展嘉賓，并獲得了中央電視總臺的特別報道，受到廣泛關(guān)注。

近年來，同濟大學(xué)物理科學(xué)與工程學(xué)院在納米計量與測試領(lǐng)域取得了顯著進展，學(xué)院在直接溯源型標準物質(zhì)的種類及精確度方面實現(xiàn)了突破，并且自主研發(fā)了高精度計量裝置及晶圓級標準片。今年5月，同濟大學(xué)被國家市場監(jiān)督管理總局遴選為首批原子顯微鏡與電子顯微鏡等高端儀器的計量測試評價機構(gòu)，有望為我國先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)微納檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)提供重要支撐。