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實(shí)測(cè)案例 | 半導(dǎo)體企業(yè)精密檢測(cè)儀器故障原因排查


  來源: 福祿克公司 時(shí)間:2023-08-30 編輯:清風(fēng)
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半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)設(shè)備有刻蝕、薄膜沉積、清洗、濕制、封裝和測(cè)試、拋光、硅晶圓制造等設(shè)備,這些精密生產(chǎn)設(shè)備對(duì)工藝要求很高,例如對(duì)供電的穩(wěn)定性和質(zhì)量要求,對(duì)溫度嚴(yán)格的監(jiān)測(cè)和控制等



福祿克公司推出的新一代電能質(zhì)量分析儀可幫助半導(dǎo)體及電子制造等敏感制造業(yè):

1、日常維護(hù)供電質(zhì)量,提早發(fā)現(xiàn)故障隱患,避免停機(jī)及降低廢品率

2、快速排查故障原因,盡快恢復(fù)生產(chǎn)



案例一:


某半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)車間安裝了3套半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備,一臺(tái)安裝在正在運(yùn)行的的生產(chǎn)測(cè)試線上,有專用的供電,供電質(zhì)量很好,一直未出現(xiàn)問題


其余兩臺(tái)備用,用墻上的220V插座供電,故障率頻發(fā),損壞了多塊開關(guān)卡。


該半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備里面的高精密矩陣開關(guān),里面是繼電器,是機(jī)械開關(guān),漏電流很低。


該檢測(cè)設(shè)備是執(zhí)行高精度參數(shù)測(cè)試,適用于測(cè)量精度要求很高的場(chǎng)合,要求達(dá)到皮乏(PF)、皮安(PA)量級(jí),因此該精密測(cè)試設(shè)備對(duì)供電環(huán)境也有較高要求。


故障表現(xiàn)是開關(guān)自檢時(shí)報(bào)錯(cuò),漏電流達(dá)到了微安量級(jí)。


用戶聯(lián)系福祿克公司的專家去測(cè)試現(xiàn)場(chǎng)查找故障原因


下圖是測(cè)試現(xiàn)場(chǎng):



儀器在現(xiàn)場(chǎng)持續(xù)監(jiān)測(cè)了一周時(shí)間



測(cè)試結(jié)果概述:


捕捉到了發(fā)生了多次的電壓波動(dòng)(>10%),最嚴(yán)重的一次事件: 最大偏差-132.2V ,持續(xù)時(shí)間 0.459ms


數(shù)據(jù)分析:電壓電流趨勢(shì)



監(jiān)測(cè)期間發(fā)生的事件列表



捕捉到的波形偏差,可以查看有效值變化特性曲線,幅值大多在20~30V之間



捕捉到的波形偏差,也可以查看發(fā)生時(shí)的波形(持續(xù)時(shí)間3.079s)



總結(jié)


·監(jiān)測(cè)的一周時(shí)間內(nèi),發(fā)現(xiàn)一次較高的電壓波動(dòng),和用戶反饋的故障周期吻合


·精密檢測(cè)設(shè)備需要獨(dú)立、穩(wěn)定、高質(zhì)量的供電電源!

使用Fluke 1777在線監(jiān)測(cè)功能幫助用戶查找到了故障的原因:電壓波動(dòng),導(dǎo)致精密開關(guān)無法正常工作

也幫助售后人員確認(rèn)了精密儀器對(duì)電壓波動(dòng)的耐受范圍:<40V大概率沒問題


·用戶反映后期還即將投入使用的3#和4#測(cè)試儀器,給用戶提出建議:

1.先用1777監(jiān)測(cè)供電質(zhì)量,電壓波動(dòng)閾值設(shè)置為50V,避免器件損壞造成的損失

2.和上次的質(zhì)量做對(duì)比

3.完善安裝調(diào)試及售后技術(shù)人員的操作規(guī)程,明確供電質(zhì)量的要求指標(biāo)


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