超高純(UHP)壓力傳感器被廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏行業(yè)的特氣輸配送系統(tǒng)中,是半導(dǎo)體、光伏廠務(wù)供氣特氣柜、工藝設(shè)備配氣柜中的關(guān)鍵零部件之一。
區(qū)別于一般的壓力傳感器,UHP壓力傳感器有以下幾個(gè)比較關(guān)鍵的特點(diǎn):
比較寬的量程范圍需求,需要涵蓋機(jī)臺(tái)端25~50 psi絕壓量程、氣路分配箱100~250 psi絕壓或復(fù)合壓量程以及特氣柜250 psi、3000~5000 psi絕壓或復(fù)合壓的應(yīng)用。
潔凈生產(chǎn)過(guò)程的需求,需要在全量程范圍內(nèi)使用高純氮?dú)膺M(jìn)行標(biāo)定或校準(zhǔn),避免污染傳感器的接液部件,便于后續(xù)的潔凈包裝處理。
高精度標(biāo)定需求,通常UHP壓力傳感器的精度指標(biāo)要達(dá)到+/- 0.2/0.25 %FS,需要一套精度足夠高的標(biāo)定/校準(zhǔn)系統(tǒng)進(jìn)行線性標(biāo)定。
低溫漂補(bǔ)償需求,UHP壓力傳感器需要更加可靠的溫補(bǔ)以滿(mǎn)足在經(jīng)歷吹掃過(guò)程時(shí)不出現(xiàn)零點(diǎn)溫漂現(xiàn)象。
福祿克8270A模塊化氣體壓力控制器,擁有寬范圍、多量程、高精度氣壓控制的特性,控壓范圍從真空至44 MPa(6600 psi),具有0.01 %FS或0.007 %Rdg測(cè)壓精度、0.002 %FS穩(wěn)壓精度,可同時(shí)安裝多達(dá)5個(gè)測(cè)壓模塊,既無(wú)量程比限制、又能自動(dòng)切換量程,單臺(tái)8270A控制器即能滿(mǎn)足全量程UHP壓力傳感器的標(biāo)定或校準(zhǔn),助力傳感器生產(chǎn)企業(yè)搭建低成本、高效率的柔性化傳感器標(biāo)定/溫補(bǔ)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)小批量、多量程按需精益生產(chǎn)的目標(biāo)。
這里,我們以標(biāo)定100、250、5000 psi三個(gè)量程的UHP壓力傳感器為例,只需一臺(tái)8270A搭配6000 psi和300 psi兩個(gè)量程的測(cè)壓模塊,即能標(biāo)定上述三個(gè)量程UHP壓力傳感器,并且標(biāo)定系統(tǒng)的精度優(yōu)于對(duì)應(yīng)量程的0.03 %。
同時(shí),通過(guò)8270A主機(jī)集成的電磁閥驅(qū)動(dòng)器控制三路電磁閥開(kāi)或閉,實(shí)現(xiàn)三個(gè)量程的傳感器在烘箱的一次升降溫過(guò)程中實(shí)現(xiàn)多量程混合標(biāo)定。
1、標(biāo)定100 psi量程,三路電磁閥均打開(kāi),8270A自動(dòng)選擇300 psi量程模塊進(jìn)行控壓、穩(wěn)壓。
2、標(biāo)定250 psi量程,上路電磁閥關(guān)閉,8270A仍舊使用300 psi量程模塊進(jìn)行控壓、穩(wěn)壓。
3、標(biāo)定5000 psi量程,僅下路電磁閥打開(kāi),8270A自動(dòng)切換為6000 psi量程模塊進(jìn)行控壓、穩(wěn)壓。