1.21 高精度多通道數(shù)據(jù)采集器

研究目標(biāo):開發(fā)高精度多通道數(shù)據(jù)采集器，突破高速共享緩存矩陣設(shè)計和快速實時信號同步處理等關(guān)鍵技術(shù)，開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，實現(xiàn)在質(zhì)譜儀、噪聲分析儀、磁場測試儀、低溫物理參數(shù)測試儀等儀器中的應(yīng)用。

考核指標(biāo)：通道數(shù)≥64（可擴(kuò)展），最大采樣率≥204.8kHz，非雜散動態(tài)范圍≥120dB，采樣位數(shù)≥24bit，最大電壓范圍±10V，靈敏度50nV，串?dāng)_抑制≥110dB;平均故障間隔時間≥5000小時。

1.22 高速高精度二維掃描微鏡

研究目標(biāo)：開發(fā)高速高精度二維掃描微鏡，突破低應(yīng)力薄膜加工、片上角度檢測等關(guān)鍵技術(shù)，開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，實現(xiàn)在共聚焦顯微鏡、3D激光掃描儀、微型激光雷達(dá)等儀器中的應(yīng)用。

考核指標(biāo)：工作波段800nm~2500nm，繞快軸掃描角度≥40°，掃描諧振頻率≥25kHz;繞慢軸掃描角度≥60°，掃描諧振頻率≥600Hz，指向性掃描時光線掃描角度≥30°，指向性偏轉(zhuǎn)步進(jìn)精度≤2μrad;抗沖擊≥1200g，實現(xiàn)對轉(zhuǎn)角的實時檢測;平均故障間隔時間≥10000小時。

1.23 紫外凸面光柵

研究目標(biāo)：開發(fā)紫外波段閃耀凸面光柵，突破光柵槽形精密刻劃關(guān)鍵技術(shù)，開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，實現(xiàn)在紫外超光譜成像儀、紫外多光譜成像儀等儀器中的應(yīng)用。