考核指標(biāo)：中心頻率≥0.5THz，調(diào)制時間≤10μs@90GHz，成像景深≥50cm，成像時間≤5s@50cm×50cm，穿透深度≥10cm@碳纖維材料，成像分辨率≤0.3mm×0.3mm×1.5mm;平均故障間隔時間≥4000小時。[pagebreak]

2.13 差分高能電子衍射儀

研究目標(biāo)：針對薄膜、異質(zhì)結(jié)、超晶格人工結(jié)構(gòu)制備工藝過程中的測試需求，突破寬氣壓高能衍射電子槍和衍射電子氣體散射干擾抑制等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件國產(chǎn)化的差分高能電子衍射儀，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫，實現(xiàn)寬氣壓范圍晶體取向和原子位置等原位實時測試。開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

考核指標(biāo)：能量范圍15keV~35keV，束流50μA~100μA，束斑直徑50μm~80μm，紋波系數(shù)0.05%，束流穩(wěn)定度系數(shù)0.15%/℃，工作氣壓范圍1×10-8Pa-100Pa，一次實驗采集圖像≥50幅，自動焦距調(diào)整響應(yīng)時間≤5秒，觀測強(qiáng)度震蕩≥50個周期;平均故障間隔時間≥3000小時。

2.14 固態(tài)量子材料自旋信息測量儀

研究目標(biāo)：針對量子計算、量子傳感器件所用核心關(guān)鍵材料量子自旋信息測量及表征需求，突破量子探針制備、量子自旋態(tài)空間形貌表征、自旋態(tài)時空信息解耦等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件國產(chǎn)化的固態(tài)量子材料自旋信息測量儀，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫，實現(xiàn)室溫環(huán)境下固態(tài)量子材料自旋信息的高精度測量。開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。