近日，由上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院全資子公司上海計(jì)測(cè)工程設(shè)備監(jiān)理有限公司牽頭的國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)——“跨尺度微納米測(cè)量?jī)x的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用（2014YQ090709）”2016年度會(huì)議在該院召開(kāi)。會(huì)議由國(guó)家質(zhì)檢總局科技司副處長(zhǎng)謝正文主持，國(guó)家質(zhì)檢總局科技司王越薇副司長(zhǎng)、國(guó)家科技部資配司錢(qián)小勇處長(zhǎng)、上海市科委基地處過(guò)浩敏處長(zhǎng)、張露璐主管、上海市質(zhì)監(jiān)局陸敏總工、朱晨輝處長(zhǎng)、金國(guó)藩院士、莊松林院士、李同保院士、上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院邵力院長(zhǎng)以及項(xiàng)目組全體成員出席了會(huì)議。
會(huì)上，謝正文副處長(zhǎng)通報(bào)了國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)2016年度項(xiàng)目中期評(píng)估結(jié)果。此次共有29個(gè)項(xiàng)目參加評(píng)估，本項(xiàng)目的中期評(píng)估綜合等第為A類(lèi)，成為僅有的5個(gè)A類(lèi)項(xiàng)目之一。與會(huì)的領(lǐng)導(dǎo)和專(zhuān)家都對(duì)本項(xiàng)目獲得如此高的評(píng)分表示祝賀！
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人邵力向與會(huì)領(lǐng)導(dǎo)和專(zhuān)家介紹項(xiàng)目進(jìn)展、展示項(xiàng)目成果，并匯報(bào)下一階段工作計(jì)劃與系列樣機(jī)規(guī)劃。本項(xiàng)目已研制高精度跨尺度微納米測(cè)量?jī)x一臺(tái)、通用型跨尺度微納米測(cè)量?jī)x兩臺(tái)（裝配中），性能指標(biāo)及相關(guān)參數(shù)均符合科技部立項(xiàng)要求。并且，本項(xiàng)目研發(fā)儀器已在納米標(biāo)準(zhǔn)樣品的制備及檢測(cè)、超精密加工材料的微介觀結(jié)構(gòu)檢測(cè)、IC晶圓的檢測(cè)、環(huán)境顆粒物質(zhì)的檢測(cè)等方面展開(kāi)應(yīng)用。
參會(huì)領(lǐng)導(dǎo)、專(zhuān)家組、監(jiān)理組和用戶(hù)委員會(huì)成員都對(duì)本項(xiàng)目的發(fā)展及應(yīng)用前景表示樂(lè)觀，建議加強(qiáng)項(xiàng)目后續(xù)工程化、產(chǎn)業(yè)化工作，進(jìn)一步提高儀器的穩(wěn)定性和可靠性，集中1-2個(gè)較好領(lǐng)域研發(fā)專(zhuān)業(yè)化的應(yīng)用軟件。
此外，會(huì)議上關(guān)注的知識(shí)產(chǎn)權(quán)問(wèn)題，以及如何使中國(guó)制造的高端儀器真正融入市場(chǎng)，也成了探討的關(guān)注點(diǎn)。
