“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應(yīng)用”項目于2014年10月正式獲得國家科技部批準(zhǔn)立項。由上海計測工程設(shè)備監(jiān)理有限公司牽頭，上海市計量測試技術(shù)研究院提供技術(shù)支撐?？偨?jīng)費7681萬元，其中中央財政專項經(jīng)費投入3731萬元，截止日期為2018年10月。屆時，該項目將形成年產(chǎn)50臺生產(chǎn)能力，累計銷售收入5000萬元。

立項目的是為突破我國在微納米檢測技術(shù)領(lǐng)域檢測方法集成開發(fā)的諸多技術(shù)瓶頸，攻克宏微聯(lián)動多軸驅(qū)動和多測頭集成、基于原子沉積光柵的納米量值溯源等關(guān)鍵技術(shù)，研制用于計量、工業(yè)生產(chǎn)、產(chǎn)品檢測中微形貌和幾何尺寸測量的微納米測量儀，并構(gòu)建跨尺度、高精度微納米測量與研發(fā)平臺，為我國國防、航空航天、半導(dǎo)體制造業(yè)、微機電產(chǎn)業(yè)、大氣污染物防治等領(lǐng)域提供有效的納米計量技術(shù)的支持和保障，提升我國高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)中微納米尺寸定量化測量的技術(shù)水平。

此次中期檢查結(jié)果表明，“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應(yīng)用”的研制進程符合計劃任務(wù)書中的要求，已獲得成果跨尺度微納米測量儀1臺、核心關(guān)鍵部件3個以及新應(yīng)用方法6種；形成了質(zhì)量和可靠性保障方案2套，成套技術(shù)檔案文件3套；在研制過程中，發(fā)表論文32篇，申請國內(nèi)專利26項（已授權(quán)9項），申請并授權(quán)計算機軟件著作權(quán)2項，項目經(jīng)費使用合規(guī)。

在聽完研究成果匯報后，評估小組還在現(xiàn)場檢查了項目研發(fā)的樣機，獲得一致認(rèn)可。