MEMS智能傳感器,能讓人與物“對話”、物與物“互通”,實現(xiàn)“萬物互聯(lián)”。
位于蚌埠市龍子湖畔的中國傳感谷,正聚力打造千億級智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)業(yè)集群,一群不忘初心、求真務(wù)實的優(yōu)秀共產(chǎn)黨員科技工作者們,正積極推動蚌埠市智能傳感器產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。陳博就是其中的一位。
作為中國三大傳感器研發(fā)制造基地之一,蚌埠在智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展上基礎(chǔ)好、起步早、發(fā)展快,是安徽唯一、全國為數(shù)不多的同時擁有集成電路和MEMS晶圓生產(chǎn)線的城市。
“一個小小的數(shù)據(jù),可能就需要整個團隊配合才能完成?!卑不毡狈轿㈦娮友芯吭杭瘓F有限公司(簡稱:北方微電子院)高級工程師陳博,2008年畢業(yè)以后來到蚌埠,長期從事MEMS工藝制造技術(shù)研究。
據(jù)悉,蚌埠全市智能傳感產(chǎn)業(yè)有200余家相關(guān)企業(yè),其中高新技術(shù)企業(yè)50家,省級以上專精特新企業(yè)17家,覆蓋產(chǎn)業(yè)上下游各個環(huán)節(jié),經(jīng)濟規(guī)模總量超百億元。其中,坐落在蚌埠市的北方微電子院,是國內(nèi)中高端MEMS技術(shù)與產(chǎn)品的頭部企業(yè)。
6月27日上午,剛剛走出實驗室的陳博,身穿實驗操作服、戴著一副半黑框的眼鏡。隨后,他和團隊的小伙伴一起,分析實驗過程中發(fā)現(xiàn)的問題、尋找原因?!耙欢ㄒ页鲈?,才能真正吃透、解決問題?!标惒┱f。
2008年,陳博畢業(yè)于吉林大學(xué)應(yīng)用物理學(xué)專業(yè)。今年39歲的他,是一名“老黨員”,黨齡19年。
“在大學(xué)里,我就已經(jīng)加入中國共產(chǎn)黨?!标惒┱f,革命英雄的事跡和崇高精神將永遠銘記在人民心中,也是激勵我們前行的強大力量。
陳博具有豐富的MEMS體硅工藝和MEMS器件工藝流程開發(fā)研究經(jīng)驗。近年來,他承擔(dān)的國家、地方科研項目10余項,涉及產(chǎn)品包括MEMS慣性傳感器、光學(xué)MEMS微鏡、MEMS超聲換能器等,廣泛應(yīng)用于我國國防工業(yè)領(lǐng)域。
不斷探索、精益求精。成功并非一蹴而就,而是日復(fù)一日的堅持、團隊合作的共同努力、堅守。
“產(chǎn)品研發(fā)過程中,出現(xiàn)異常,太正常了。我們要做的,就是發(fā)現(xiàn)問題,然后去解決它?!标惒└嬖V記者,作為一名技術(shù)人員,這是他們工作的常態(tài)。發(fā)現(xiàn)了問題,需要組織人員進行實驗分析,查找原因,再想解決措施。
功夫不負有心人。作為項目負責(zé)人,陳博帶領(lǐng)技術(shù)團隊,通過堅持不懈的努力,突破了多項MEMS體硅加工關(guān)鍵技術(shù)和MEMS器件攻關(guān)研制。近年來,陳博申報國家發(fā)明專利20項,已獲授權(quán)16項,獲得中國兵器工業(yè)集團科技進步獎、科技創(chuàng)新獎、技術(shù)改進獎等獎項10余項。
“智能汽車就會用到我們的技術(shù)?!标惒┙榻B,比如說MEMS掃描鏡,它是小型化MEMS激光雷達的核心部件,可以大幅降低激光雷達成本、提高探測精度、減小體積、實現(xiàn)自動駕駛的快速落地,在自動駕駛產(chǎn)業(yè)具有廣闊的市場前景。作為產(chǎn)品負責(zé)人,陳博帶領(lǐng)團隊突破了MEMS掃描鏡的核心制造技術(shù),實現(xiàn)了產(chǎn)品的批量生產(chǎn)。
正如陳博所言,在這里,大到100多人的大團隊,小到不足20人的項目團隊,求真務(wù)實、學(xué)習(xí)創(chuàng)新氛圍濃厚,一群人在為夢想奮斗。