掃描電子顯微鏡配備的能譜儀是快速、準確獲得材料微區(qū)成分的主要手段。隨著亞微米尺度材料的廣泛研究，結合場發(fā)射電鏡及能譜儀的最新發(fā)展技術，《亞微米尺度顆粒/薄膜能譜成分定量分析方法研究》項目組通過降低掃描電鏡加速電壓，減少電子束擴散范圍，并以蒙特卡羅法模擬低電壓下電子束的運動軌跡，從而確定合適的低加速電壓。同時建立常見元素的低加速電壓EDS標準譜圖庫，解決低加速電壓EDS標準譜圖數據庫缺失的問題，并建立了亞微米尺度單顆粒、薄膜的吸收修正模型，優(yōu)化低加速電壓下的定量校準方法。項目組發(fā)表文章4篇，根據項目研究方向建立了相應檢測方法，通過了新項目評審。

該項目成果填補亞微米尺度能譜定性定量分析的空白，為亞微米尺度材料微區(qū)成分分析提供了技術支撐。將項目的研究成果應用于陶瓷固相反應燒結機理研究中，可以有效的進行反應機理研究，提高工作效率；將項目的研究成果應用于無損情況下確定鍍層厚度研究中，可以快速、準確地確定鍍層厚度，降低測試成本。