研究目標(biāo)：針對(duì)環(huán)境監(jiān)測(cè)、食品安全和臨床診斷等行業(yè)小分子標(biāo)志物高準(zhǔn)確高靈敏定量檢測(cè)需求，突破高效率高穩(wěn)定離子化、離子傳輸和多級(jí)串聯(lián)質(zhì)量分析等關(guān)鍵技術(shù)，開(kāi)發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件全部國(guó)產(chǎn)化的四極桿—離子阱液相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀，開(kāi)發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫(kù)。實(shí)現(xiàn)復(fù)雜基質(zhì)樣品中目標(biāo)物質(zhì)的準(zhǔn)確定量分析。開(kāi)展工程化開(kāi)發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。

考核指標(biāo)：質(zhì)量范圍優(yōu)于20Th-2000Th；質(zhì)量分辨率于3000；掃描速度≥20000amu/sec；串聯(lián)分析級(jí)數(shù)（MSn）≥3；三級(jí)質(zhì)譜檢測(cè)信噪比≥500:1（50fg 利血平樣品），檢測(cè)限≤5fg；峰面積重復(fù)性≤3%（1pg 利血平連續(xù)進(jìn)樣10 次）；液相色譜最大流速≥2mL/min。產(chǎn)品完成時(shí)應(yīng)通過(guò)可靠性測(cè)試，平均故障間隔時(shí)間≥3000 小時(shí)，技術(shù)就緒度達(dá)到8 級(jí)。明確發(fā)明專(zhuān)利、標(biāo)準(zhǔn)和軟件著作權(quán)等知識(shí)產(chǎn)權(quán)數(shù)量；形成批量生產(chǎn)能力，明確項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)銷(xiāo)售數(shù)量和銷(xiāo)售額。

1.3 低溫強(qiáng)磁場(chǎng)綜合物性測(cè)量?jī)x

研究目標(biāo)：針對(duì)物理、化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域?qū)ξ⒓{器件和新材料電學(xué)、磁學(xué)、熱學(xué)等物性測(cè)量的需求，突破免液氦低溫恒溫控制、高穩(wěn)定度超導(dǎo)強(qiáng)磁場(chǎng)、全自動(dòng)多物性測(cè)量系統(tǒng)集成等關(guān)鍵技術(shù)，開(kāi)發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件全部國(guó)產(chǎn)化的低溫強(qiáng)磁場(chǎng)綜合物性測(cè)量?jī)x，開(kāi)發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫(kù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)微納器件和材料電學(xué)、熱學(xué)、磁學(xué)物性的綜合測(cè)量分析。開(kāi)展工程化開(kāi)發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。

考核指標(biāo)：溫度控制系統(tǒng)：1.9K~400K 范圍連續(xù)控溫，溫度穩(wěn)定性≤0.2%（T≤10K）、0.02%（T>10K）；磁場(chǎng)控制系統(tǒng)：磁場(chǎng)強(qiáng)度范圍±14T，磁場(chǎng)中心處5cm 范圍內(nèi)均勻度達(dá)到0.1%；電物性測(cè)量：直流電阻測(cè)量范圍1×10-8Ω~5×109Ω，測(cè)量精度0.1%（R≤200kΩ）、0.2%（R>200kΩ）；熱物性測(cè)量：比熱測(cè)量靈敏度≤10nJ/K@2K，熱電系數(shù)測(cè)量精度優(yōu)于5%，熱導(dǎo)率測(cè)量精度優(yōu)于5%；磁物性測(cè)量：直流磁化強(qiáng)度測(cè)量靈敏度≤2×10-5emu，交流磁化率測(cè)量靈敏度<2×10-8emu@10kHz。項(xiàng)目完成時(shí)產(chǎn)品應(yīng)通過(guò)可靠性測(cè)試，平均故障間隔時(shí)間≥5000 小時(shí)，技術(shù)就緒度達(dá)到8 級(jí)。明確發(fā)明專(zhuān)利、標(biāo)準(zhǔn)和軟件著作權(quán)等知識(shí)產(chǎn)權(quán)數(shù)量；形成批量生產(chǎn)能力，明確項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)銷(xiāo)售數(shù)量和銷(xiāo)售額。

1.4 聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡

研究目標(biāo)：針對(duì)集成電路芯片設(shè)計(jì)修正和失效分析、樣品3D重構(gòu)、透射電鏡樣品制備等微納加工技術(shù)需求，突破高分辨率聚焦離子束、高分辨率場(chǎng)發(fā)射電子束獲得等核心技術(shù)，開(kāi)發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、性能穩(wěn)定可靠、核心部件全部國(guó)產(chǎn)化的聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡，開(kāi)發(fā)相關(guān)軟件，開(kāi)展工程化開(kāi)發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。

考核指標(biāo)： 液態(tài)鎵離子源聚焦離子束掃描分辨率≤5nm@30kV（雙束重合點(diǎn)），能量≥30kV，束流≥65nA；聚焦電子束分辨率≤1.2nm@1kV（雙束重合點(diǎn)），能量≥30kV，束流≥50nA；最大樣品直徑≥150mm，Z 向高度調(diào)節(jié)范圍≥40mm；具備聚焦離子束材料刻蝕、沉積和透射電鏡樣品制備、3D 結(jié)構(gòu)重構(gòu)能力；具備聚焦離子束加工過(guò)程中掃描電子束實(shí)時(shí)觀察能力。項(xiàng)目完成時(shí)產(chǎn)品應(yīng)通過(guò)可靠性測(cè)試，平均故障間隔時(shí)間≥500 小時(shí)，技術(shù)就緒度達(dá)到8 級(jí)。明確發(fā)明專(zhuān)利、標(biāo)準(zhǔn)和軟件著作權(quán)等知識(shí)產(chǎn)權(quán)數(shù)量；形成批量生產(chǎn)能力，明確項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)銷(xiāo)售數(shù)量和銷(xiāo)售額。

1.5 高性能流式細(xì)胞分選儀

研究目標(biāo)：針對(duì)生物和醫(yī)學(xué)等行業(yè)血液和細(xì)胞分析需求，突破單細(xì)胞多色熒光高效分光技術(shù)、百萬(wàn)量級(jí)細(xì)胞數(shù)據(jù)處理技術(shù)、微流控細(xì)胞分選技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，開(kāi)發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件全部國(guó)產(chǎn)化的高性能流式細(xì)胞分選儀，開(kāi)發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫(kù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)細(xì)胞、熒光微球等生物顆粒的分析、計(jì)數(shù)與分選。開(kāi)展工程化開(kāi)發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。

考核指標(biāo)：激光器波長(zhǎng)數(shù)≥4；激發(fā)熒光波長(zhǎng)數(shù)≥30；熒光檢測(cè)靈敏度：FITC≤80MESF，PE≤30MESF；細(xì)胞檢測(cè)和分析速度≥70000 細(xì)胞/秒；分選純度≥98%；顆粒檢測(cè)大小0.2μm~50μm。項(xiàng)目完成時(shí)產(chǎn)品應(yīng)通過(guò)可靠性測(cè)試，平均故障間隔時(shí)間≥5000 小時(shí)，技術(shù)就緒度達(dá)到8 級(jí)。明確發(fā)明專(zhuān)利、標(biāo)準(zhǔn)和軟件著作權(quán)等知識(shí)產(chǎn)權(quán)數(shù)量；形成批量生產(chǎn)能力，明確項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)銷(xiāo)售數(shù)量和銷(xiāo)售額。