11月15日，第二十五屆中國(guó)國(guó)際高新技術(shù)成果交易會(huì)（以下簡(jiǎn)稱“高交會(huì)”）在深圳開幕。

記者在中國(guó)科學(xué)院專館看到，作為尖端科學(xué)儀器和真空技術(shù)領(lǐng)軍者——北京中科科儀股份有限公司攜其全資子公司科儀光電帶來了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡產(chǎn)品KYKY-EM8100。據(jù)悉，這是該產(chǎn)品首次在高交會(huì)亮相。

中國(guó)科學(xué)院專館

場(chǎng)發(fā)射槍掃描電鏡是納米技術(shù)、生物技術(shù)、醫(yī)學(xué)、化學(xué)、物理學(xué)研究的重要工具，在半導(dǎo)體集成電路加工、微機(jī)電系統(tǒng)、微型傳感器等信息技術(shù)支撐領(lǐng)域和環(huán)境保護(hù)領(lǐng)域也發(fā)揮著重要作用，廣泛應(yīng)用于金屬、陶瓷、礦物、冶金、高分子、復(fù)合材料、微生物、新能源材料的表面形貌進(jìn)行觀察及微區(qū)的點(diǎn)、線、面成分分析。

同時(shí)，場(chǎng)發(fā)射槍掃描電鏡在蟲害的防治、災(zāi)害（火災(zāi)、失效分析）鑒定、刑事偵察、產(chǎn)品質(zhì)量鑒定等方面也有廣泛的應(yīng)用，對(duì)于我國(guó)的基礎(chǔ)科學(xué)研究、生產(chǎn)工藝控制、各分類學(xué)科的研究有著不可替代的重要地位。

針對(duì)基礎(chǔ)科學(xué)研究和高精尖工業(yè)制造對(duì)國(guó)產(chǎn)場(chǎng)發(fā)射槍掃描電鏡的迫切需求，2013年，中科科儀牽頭，聯(lián)合北京大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院微電子研究所、中國(guó)科學(xué)院生物物理研究所、國(guó)家環(huán)境分析測(cè)試中心、清華大學(xué)等單位，承擔(dān)國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)“場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡開發(fā)和應(yīng)用”，在2014年成功推出了國(guó)內(nèi)首臺(tái)肖特基場(chǎng)發(fā)射槍掃描電鏡KYKY-EM8000，并在此基礎(chǔ)上提升電子光學(xué)系統(tǒng)綜合性能，于2017年推出了國(guó)產(chǎn)高端場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡產(chǎn)品KYKY-EM8100，分辨率優(yōu)于0.9nm@30kV，3nm@1kV，解決了高分辨率電子光學(xué)成像系統(tǒng)、系統(tǒng)集成調(diào)試等關(guān)鍵技術(shù)，成為國(guó)內(nèi)首創(chuàng)、達(dá)到國(guó)際同類產(chǎn)品技術(shù)水平、具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的肖特基場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡。

KYKY-EM8100場(chǎng)發(fā)射槍掃描電鏡的技術(shù)優(yōu)勢(shì)主要有方面：一是自主設(shè)計(jì)制造了低像差物鏡；二是突破了電子束鏡筒加速技術(shù)；三是自主研制了電子光學(xué)智能化控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)燈絲加熱、自動(dòng)偏壓、自動(dòng)孔徑角、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)亮度/對(duì)比度等電子光學(xué)智能化控制功能，還實(shí)現(xiàn)了圖像增強(qiáng)、圖像銳化、樣品尺寸測(cè)量、形貌擬合、顆粒度分析等功能，大大提升了產(chǎn)品的功能性與使用便捷性，助力打好科技儀器設(shè)備國(guó)產(chǎn)化攻堅(jiān)戰(zhàn)。

據(jù)介紹，該款掃描電鏡是北京中科科儀股份有限公司承擔(dān)科技部國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)“場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡開發(fā)和應(yīng)用”研制成果的一部分。該設(shè)備目前已完成科技成果轉(zhuǎn)化及產(chǎn)業(yè)化落地，并形成批量銷售。

文、圖 | 記者李曉旭

來源 | 羊城晚報(bào)·羊城派