3)加強研發(fā)創(chuàng)新
在半導體顯微鏡技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新上，我國近年來也取得不少的成績。2020年6月，中科院合肥研究院成功研制混合磁體極端條件下原子分辨掃描隧道顯微鏡(STM)。
此工作為利用混合磁體搭配STM開展原子分辨成像研究鋪平了道路，對于突破當前超強磁場下只能開展輸運等宏觀平均效果測量之瓶頸，進入到廣闊的物性微觀起源探索領(lǐng)域，具有標志性意義。
5、中國半導體顯微鏡市場規(guī)模有望進一步擴大
晶圓生產(chǎn)附加值極高，因此不允許任何一道工序出現(xiàn)失誤，結(jié)構(gòu)隨著性能需求提高在不斷復雜化，檢測在半導體制造中的地位也在持續(xù)提高，顯微鏡是半導體檢測中最為重要的應用設(shè)備之一。
未來，隨著我國半導體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，顯微鏡在半導體產(chǎn)業(yè)的應用需求將會不斷擴大，同時國產(chǎn)替代空間大。前瞻預測，2026年我國顯微鏡應用于半導體產(chǎn)業(yè)的市場規(guī)模有望突破30億元。
