目前，世界各國都在研制與開發(fā)各種智能傳感器和多功能傳感器。其中最成功的是美國Honeywell公司研制的DSTJ-3000智能壓差壓力傳感器在同一塊半導體基片上用離子注入法配置擴散了壓差、靜壓和溫度三個敏感元件，整個傳感器還包括變換器、多路轉(zhuǎn)換器、脈沖調(diào)制、微處理器和數(shù)字量輸出接口等。另外還在PROM中裝有該傳感器的特性數(shù)據(jù)，以實現(xiàn)非線性補償。ParScientific公司研制1000系列數(shù)字式石英智能傳感的器。日本日立研究所研制出可以識別四種氣體嗅覺傳感器。智能傳感器是測量技術(shù)、半導體技術(shù)、計算技術(shù)、信息處理技術(shù)、微電子學、材料科學互相結(jié)合的綜合密集型技術(shù)。目前各國科學家正在按下列技術(shù)途徑開發(fā)研究：

(1)利用新型材料研制基本傳感器。基本傳感器是智能傳感器的基礎(chǔ)，它的制作及其性能對整個智能傳感器影響甚大。除硅材料具有優(yōu)良的物理特性，能夠方便地制成各種集成傳感器。此外還有功能陶瓷、石英、記憶合金等都是制作傳感器的優(yōu)質(zhì)材料。

(2)利用新的加工技術(shù)。近年來利用微加工技術(shù)日趨成熟，可以加工高性能的微結(jié)構(gòu)傳感器、ASIC制作技術(shù)，也可用于制造智能傳感器。

(3)采用新的測量原理和方法。諧振式傳感器輸出數(shù)字量，可以直接和微機及接口總線連接，不用A/D轉(zhuǎn)換器。另外，光纖傳感器、化學傳感器、生物傳感器新型傳感器，為智能傳感器提供新的信息來源。