壓力傳感器廣泛應(yīng)用于工業(yè)現(xiàn)場,石油石化,航空航天的各個領(lǐng)域,通常根據(jù)使用的量程可以劃分為低壓700kPa以下,中壓(700kPa到7MPa)和高壓7MPa以上,部分應(yīng)用可以達(dá)到70MPa 以上的更高壓力。
在壓力傳感器生產(chǎn)制造工藝過程中,補(bǔ)償校準(zhǔn)成為其中最為關(guān)鍵部分,用來確保傳感器達(dá)到預(yù)定的精度等級輸出。壓力傳感器的補(bǔ)償,分為溫度補(bǔ)償和零滿度補(bǔ)償。溫度補(bǔ)償用來修正敏感元件等器件因?yàn)闇囟犬a(chǎn)生的漂移和偏差,零滿度補(bǔ)償主要是修正生產(chǎn)工藝中,敏感元件因?yàn)閴毫υ诹泓c(diǎn)和滿量程下產(chǎn)生的輸出偏差。在壓力傳感器實(shí)際應(yīng)用環(huán)境中,壓力和溫度變化往往會同時存在, 因此在生產(chǎn)工藝校準(zhǔn)中,需要在溫度補(bǔ)償過程中同時對傳感器的零滿度進(jìn)行補(bǔ)償。補(bǔ)償校準(zhǔn)過程需要提供壓力傳感器所需要的穩(wěn)定高低溫環(huán)境和零滿度壓力基準(zhǔn)。溫度環(huán)境通常由高低溫環(huán)境試驗(yàn)箱等提供,通常控溫精度為±2度左右, 壓力基準(zhǔn)一般可以根據(jù)傳感器的精度等級選擇不同的基準(zhǔn)器,例如工作級活塞,自動壓力控制器等。
在壓力傳感器的生產(chǎn)補(bǔ)償校準(zhǔn)工藝中,通常選擇自動的壓力控制器來作為壓力基準(zhǔn)。穩(wěn)定精準(zhǔn)的壓力基準(zhǔn)對傳感器的高精度準(zhǔn)確輸出尤為重要。Fluke 6270A和8270A/8370A系列壓力控制器,可以實(shí)現(xiàn)從真空到高壓100MPa的壓力全覆蓋,支持表壓、絕壓、差壓測量。模塊化的壓力測量設(shè)計,可以實(shí)現(xiàn)在一臺壓力控制器上自由切換不同量程,較高的控制可調(diào)比(6270A為10:1, 8270A/8370A為100:1),可以在較高的供氣壓力下覆蓋全量程的精確壓力控制輸出,全氣體介質(zhì)適用于部分對工藝潔凈度要求較高的壓力傳感器補(bǔ)償校準(zhǔn),例如醫(yī)療,食品和半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域。