源測量單元（Source Measure Unit，簡稱SMU），顧名思義就是可編程電源和測量儀表的結(jié)合體，既可以有電源輸出，又可以進行測量。隨著應(yīng)用領(lǐng)域?qū)┙o電源和測量同步性要求的不斷提高，SMU在生物化學(xué)、超導(dǎo)材料、光電器件測試、半導(dǎo)體研究等領(lǐng)域起到了越來越大的作用。尤其是高性能的源表，可以更全面地檢測器件特性，提升整個測試系統(tǒng)的效率，從而提高設(shè)計和生產(chǎn)效率。
GS820工作時序圖
精度
精度是根本，高精度SMU的輸出和測量精度指標(biāo)通常是有很多限制條件的，比如溫度范圍、保證時限等。保證精度的溫度范圍越寬，保證時限越長，實際測試過程中的精度才越有保障。
橫河GS200系列SMU的最高精度可達讀數(shù)的0.001%；
在23±5℃的溫度范圍時，一年的保證精度也可以達到讀數(shù)的±0.016%；
在23±5℃溫度范圍以外時，溫度系數(shù)高達±0.0008%/℃。
穩(wěn)定性
穩(wěn)定性是指SMU在進行長時間連續(xù)測量時，精度的變化情況。影響穩(wěn)定性的因素有很多，如源表元器件的質(zhì)量、零部件的磨損老化、以及使用或貯存不當(dāng)?shù)?。另外，SMU的實際應(yīng)用場景通常會連續(xù)測量較長時間，比如在生產(chǎn)線上使用時，需要連續(xù)測量24小時以上。長時間的輸出和測量，會在SMU的機箱內(nèi)產(chǎn)生并積累熱量，如果散熱處理不當(dāng)也會對輸出和測量的精度帶來較大的影響。
GS200輸出穩(wěn)定性與其他公司產(chǎn)品對比
響應(yīng)速度
當(dāng)SMU的輸出通過掃描或編程頻繁進行切換時，輸出的響應(yīng)速度就變得尤為重要。
掃描輸出例
快速的響應(yīng)才能保證輸出對時間的準(zhǔn)確性，迅速而準(zhǔn)確地達到輸出值，而良好的震蕩抑制能夠確保電壓、電流輸出的穩(wěn)定，避免對被測對象產(chǎn)生不必要的沖擊。
半導(dǎo)體激光芯片檢測實例
半導(dǎo)體激光器芯片檢測，需要SMU輸出電流驅(qū)動發(fā)光二極管，并測量光電傳感器的輸出電壓，同時使用光譜分析儀對發(fā)光二極管的發(fā)光波長和光譜特性進行檢測。
由于光電傳感器產(chǎn)生的電壓很小，需要源表具有很高的分解能力和測量精度。
同時為了避免發(fā)光二極管過熱，提高檢測速度，驅(qū)動電流需要以窄脈沖掃描的形式進行輸出，這就對SMU的響應(yīng)和測量速度提出了很高要求。這樣的檢測工作在生產(chǎn)線上可能需要連續(xù)24小時進行，SMU的穩(wěn)定性也至關(guān)重要。
脈沖掃描曲線
半導(dǎo)體激光器芯片檢測示例
- 基本精度：最高可達±0.016%
- 溫度系數(shù)：最高可達±0.0008%/℃
- 100μs周期輸出100,000點任意波形
- 內(nèi)置USB大容量存儲設(shè)備
- 高速的命令響應(yīng)能力
