深圳綜合粒子設(shè)施研究院，是深圳市委市政府貫徹落實“雙區(qū)驅(qū)動”和創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展國家重大戰(zhàn)略、支撐大灣區(qū)綜合性國家科學中心建設(shè)的公益性科研事業(yè)單位，于2020年4月獲批成立。

深圳綜合粒子設(shè)施研究院近日擬采購一套高精度測量儀，用于硬X射線衍射實驗室測試裝置研制集成。本項目整個測試平臺的搭建過程中，需要對準直/聚焦系統(tǒng)、探測器系統(tǒng)、衍射儀系統(tǒng)、狹縫、樣品位移臺等所有機械結(jié)構(gòu)的線性運動性能進行檢測和驗收。高精度測量系統(tǒng)可以完成機械運動結(jié)構(gòu)的線性檢測工作，包括運動線性分辨率、運動線性重復(fù)性以及導軌運動直線度，檢定機械結(jié)構(gòu)裝配后的線性運動性能，保證最終滿足實驗站出光要求。

高精度測量儀包括一臺雙頻激光發(fā)射器、一個便攜式支架、三套反射鏡組、兩個傳感器和一個傳感集線器以及配套軟件，主要用于X射線衍射實實驗室內(nèi)機械運動機構(gòu)的線性運動和角度檢定，未有大量設(shè)備同時檢定要求，一臺設(shè)備可以滿足項目需要。此次購置為新增，院內(nèi)無同類設(shè)備。

根據(jù)裝置的設(shè)計驗收參數(shù)：

樣品位移臺移動分辨率指標為1μm，重復(fù)運行精度PV均方差小于1μm；

探測器直線導軌定位精度小于10μm，重復(fù)精度小于±2μm；

單色器姿態(tài)調(diào)節(jié)，其中位置調(diào)節(jié)機構(gòu)行程為10mm，分辨率要求為0.5μm，重復(fù)性要求1μm；

準直鏡的機械運動結(jié)構(gòu)中，Yaw、Pitch、Roll、X、Z五自由度的調(diào)節(jié)，橫切機構(gòu)的線性運動分辨率和重復(fù)性指標為1μm、±2μm，垂直調(diào)節(jié)機構(gòu)的線性分辨率和重復(fù)性指標為1μm、±2μm。

綜合考慮各設(shè)備的重復(fù)性測量精度、分辨率要求以及后期其他精密設(shè)備的檢測需求，要求該高精度測量儀線性定位精度達到±0.4ppm，分辨率精度達到0.1μm，角度測量精度不小于顯示值的±0.2%。

預(yù)算：70萬

獲取文件

時間：2021年12月23-30日

地點：http://www.o-science.com 注冊并購買

售價：￥600.0 元，本公告包含的招標文件售價總和

投標事宜

截/開投時間：2022年01月04日 14:30

地點：深圳市南山區(qū)粵海街道百度國際大廈西塔1005室

聯(lián)系方式

采購人：深圳綜合粒子設(shè)施研究院

地址：深圳市光明區(qū)新湖街道圳園路268號美華美工業(yè)區(qū)

聯(lián)系方式：0755-21096067

采購代理：東方國際招標有限責任公司

聯(lián)系方式：遲兆洋、張君仙 0769-26627023、020-87001523