合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院的前身應(yīng)用物理系成立于1980年，當(dāng)時(shí)以物理教育、應(yīng)用物理、半導(dǎo)體物理與器件等專業(yè)為基礎(chǔ)組建而成，是國內(nèi)高校中成立應(yīng)用物理系較早的單位之一。MEMS工程技術(shù)研究中心主要對(duì)微傳感器和微執(zhí)行器所涉及的基礎(chǔ)理論、微尺度效應(yīng)、集成設(shè)計(jì)方法以及傳感執(zhí)行陣列等進(jìn)行研究。
官網(wǎng)：http://dwxy.hfut.edu.cn/2015/0731/c5593a109476/page.psp
15、杭州電子科技大學(xué)材料與環(huán)境工程學(xué)院
主要研究方向：磁性傳感器、磁電隔離耦合器件及磁性邏輯器件等
主要研究單位：磁電子中心
磁電子中心主要研究方向包括：磁性功能材料制備及表征、集成磁電子功能器件設(shè)計(jì)及制備、姿態(tài)檢測與慣性導(dǎo)航、傳感器噪聲分析和微弱信號(hào)處理、智能傳感器與傳感器網(wǎng)絡(luò)等。
官網(wǎng)：http://cmee.hdu.edu.cn/4734/list.htm
16、上海交通大學(xué)
主要研究方向：MEMS技術(shù)的微慣性器件、微飛行器、微安全保證系統(tǒng)、微表面應(yīng)力傳感器、微流控生化芯片、新型傳感器、光電與視覺檢測、生物醫(yī)學(xué)感知等
主要研究單位：微系統(tǒng)集成研究所、儀器科學(xué)與工程系現(xiàn)代傳感器與光電檢測研究室
微系統(tǒng)集成研究所研究方向涵蓋控制、機(jī)械、電子、材料、生物等領(lǐng)域。在微慣性器件方面，研究重點(diǎn)為靜電懸浮微陀螺、靜電懸浮微加速度計(jì)以及固體模態(tài)振動(dòng)微陀螺等，微表面應(yīng)力傳感器包括微剪切應(yīng)力傳感器、微脈動(dòng)壓力傳感器等。
現(xiàn)代傳感與光電檢測研究室隸屬于上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院儀器科學(xué)與工程系，主要致力于新型傳感器、光電與視覺檢測、生物醫(yī)學(xué)感知等方面的科學(xué)研究，具有多項(xiàng)國際首創(chuàng)的科研成果，部分技術(shù)水平處于國際領(lǐng)先。
官網(wǎng)：https://microsystem.sjtu.edu.cn/index.html
17、廈門大學(xué)薩本棟微米納米技術(shù)研究院
主要研究方向：微納米材料及微納米器件與系統(tǒng)的研究與應(yīng)用
主要研究單位：-
薩本棟微米納米科學(xué)技術(shù)研究院，前身為薩本棟微機(jī)電研究中心，由廈門大學(xué)、薩本棟教育科研基金會(huì)和廈門市政府共同創(chuàng)建設(shè)立，于2002年9月在思明校區(qū)開始正式運(yùn)行，2003年通過驗(yàn)收成為廈門市MEMS工程中心，2006年獲準(zhǔn)籌建微機(jī)電系統(tǒng)福建省高校重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。于2010年12月更名為薩本棟微米納米科學(xué)技術(shù)研究院，以微納傳感和新能源材料為主要研究方向。
官網(wǎng)：https://sbd.xmu.edu.cn/
18、重慶大學(xué)微系統(tǒng)研究中心
主要研究方向：生化微系統(tǒng)、微能源器件與系統(tǒng)、微納器件技術(shù)等
主要研究單位：-
重慶大學(xué)微系統(tǒng)研究中心是橫跨光學(xué)、機(jī)械、電子、信息工程、生物化學(xué)等多學(xué)科的綜合性研究中心，是國內(nèi)涉足微型機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）研究領(lǐng)域最早的單位之一，也是重慶大學(xué)“211”和“985”工程重點(diǎn)學(xué)科建設(shè)平臺(tái)之一。中心建有新型微納器件與系統(tǒng)技術(shù)國防重點(diǎn)學(xué)科實(shí)驗(yàn)室、微納系統(tǒng)與新材料技術(shù)國家級(jí)國際聯(lián)合研究中心、重慶市微光機(jī)電工程技術(shù)研究中心等研究基地。在MEMS領(lǐng)域主要開展了新型微傳感器、微結(jié)構(gòu)、微光學(xué)元件、微執(zhí)行器、微能源、信號(hào)處理及控制電路等的一體化三維集成技術(shù)的研究，在微型傳感器系統(tǒng)、微型分析儀器、微能源的研究方面取得了重要進(jìn)展，形成了自身的特色和優(yōu)勢。
官網(wǎng)：http://msc.coe.cqu.edu.cn/
19、東北大學(xué)信息科學(xué)與工程學(xué)院
主要研究方向：智能光電器件、智能感知技術(shù)、光子晶體光纖、紅外光纖光學(xué)、非線性光學(xué)及微納光電器件等
主要研究單位：電子科學(xué)與信息光學(xué)研究所、智能光電子研究所
