研究內(nèi)容：研究差壓、表壓和絕壓高精度壓力傳感器芯片設(shè)計制造關(guān)鍵技術(shù)；研究硅基MEMS加工應(yīng)力控制方法與傳感器高可靠封/組裝技術(shù)；研究寬溫區(qū)溫度補償校準(zhǔn)方法，實現(xiàn)基于自主開發(fā)壓力敏感芯片的系列化壓力傳感器在流程工業(yè)、裝備工業(yè)等重點領(lǐng)域應(yīng)用驗證。

考核指標(biāo)：差壓傳感器量程0.015MPa，非線性誤差0.3%FS，遲滯0.05%FS，工作溫度-40~85℃；表壓傳感器量程0.5MPa，非 線性誤差0.2%FS，遲滯0.05%FS，工作溫度-40~85℃；絕壓傳感器量程3MPa，準(zhǔn)確度 0.02%FS，工作溫度-40~85℃；高溫壓力傳感器量程2MPa，準(zhǔn)確度0.25%FS，工作溫度-55~250℃，響應(yīng)頻率≥400kHz；壓力變送器準(zhǔn)確度0.05%FS；申請發(fā)明專利≥5項。

8、工業(yè)機器人減速器狀態(tài)監(jiān)測傳感器關(guān)鍵技術(shù)

研究內(nèi)容：研究薄膜應(yīng)變傳感器在機器人減速器部件表面上的原位集成工藝、設(shè)計制造及可靠性技術(shù)；研究適應(yīng)減速器內(nèi)部環(huán)境的無線應(yīng)變傳感器設(shè)計制造及測量技術(shù)；研究MEMS薄膜聲發(fā)射傳感器設(shè)計制造及可靠性技術(shù)；研制的傳感器在諧波減速器和RV(旋轉(zhuǎn)矢量)減速器應(yīng)用驗證。

考核指標(biāo)：諧波減速器應(yīng)變傳感器靈敏度因子≥1.5，TCR(電阻溫度系數(shù))≤110ppm，線寬≤10μm@曲率半徑62.5μm基底；RV減速器無線應(yīng)變傳感器測試范圍0~1000με，誤差≤±1%；聲發(fā)射傳感器工作頻率范圍 40~400kHz，靈敏度優(yōu)于60dB；申請發(fā)明專利≥3項。

二、示范應(yīng)用

1、動力系統(tǒng)關(guān)鍵傳感器開發(fā)及示范應(yīng)用

研究內(nèi)容：研究集成式多路電壓傳感器設(shè)計、高低壓可靠隔離、高壓切換開關(guān)及高精度模數(shù)轉(zhuǎn)換技術(shù)；研究寬量程電流傳感器芯片設(shè)計及可靠性技術(shù)；研究高精度電機位置傳感器薄膜材料工藝、設(shè)計及制造技術(shù)，開發(fā)信號調(diào)理電路；開發(fā)傳感器及模塊應(yīng)用技術(shù)，在電動汽車等領(lǐng)域示范應(yīng)用。

考核指標(biāo)：多路電壓傳感器最高檢測電壓≥1000V，電壓檢測精度優(yōu)于0.5%，采樣率≥1MHz，分辨率≥12 Bit；電流傳感器直流量程±1000A，精度優(yōu)于0.1%；電機位置傳感器轉(zhuǎn)速范圍0~30000r/min，分辨率≥16 Bit(360度角度范圍)，系統(tǒng)延時≤2μs；檢測高壓母線電流，功能安全等級ASIL B；傳感器可靠性水平滿足不同電動汽車用戶單位要求。

2、動力電池組控制安全傳感器開發(fā)及示范應(yīng)用

研究內(nèi)容：研究動力電池組單體電壓與溫度檢測方法，高速高精度模數(shù)轉(zhuǎn)換及多芯片擴展技術(shù)；研究電池?zé)崾Э氐膲毫?、VOC(揮發(fā)性有機化合物)、氣溶膠等傳感器設(shè)計制造技術(shù)；開發(fā)傳感器及模塊應(yīng)用技術(shù)，在電動汽車等領(lǐng)域示范應(yīng)用。

考核指標(biāo)：單體直流電壓監(jiān)測范圍±5V，測量精度優(yōu)于±2.5mV；熱失控監(jiān)測傳感器壓力測量范圍50~250kPa，誤差≤±1.5kPa，響應(yīng)速度≥100ms；VOC傳感器檢測氣體成分包括：CO、CO2、C2H4、CH2O 有機揮發(fā)物，測量范圍0~5000ppm，誤差≤±15%；氣溶膠傳感器測量范圍200~5000μg/m3，誤差≤±15%；整機安全：防止乘客倉起火ASIL D，防止人員觸電ASIL D；傳感器可靠性水平滿足不同用戶單位要求。

3、醫(yī)療影像裝備關(guān)鍵傳感器開發(fā)及示范應(yīng)用

研究內(nèi)容：研究SiPM(硅基光電倍增管)輻射傳感器設(shè)計制造；研究磁柵位置傳感器設(shè)計制造及抗輻照技術(shù)；研究強磁場背景下高分辨磁場傳感器設(shè)計制造技術(shù)；研究傳感器敏感元件與相關(guān)抗輻照調(diào)理電路設(shè)計；研制的傳感器在CT(斷層掃描儀)、PET(正電子發(fā)射斷層成像)、RT(影像引導(dǎo)放療)或MR(磁共 振)等醫(yī)療影像裝備示范應(yīng)用。