近期，科技部高新司在杭州組織召開(kāi)了“十二五”國(guó)家863計(jì)劃主題項(xiàng)目“效率10%以上50MW非晶／微晶硅疊層薄膜太陽(yáng)電池成套制造工藝技術(shù)研發(fā)”項(xiàng)目驗(yàn)收會(huì)，專家組一致認(rèn)為，該項(xiàng)目完成了立項(xiàng)通知規(guī)定的研究?jī)?nèi)容及主要考核指標(biāo)，同意通過(guò)驗(yàn)收。據(jù)悉該項(xiàng)目由浙江正泰太陽(yáng)能科技有限公司、中國(guó)科學(xué)院微電子所兩家單位共同完成。

項(xiàng)目研發(fā)期間，開(kāi)展了低壓力化學(xué)氣相沉積法（LPCVD）制備氧化鋅透明導(dǎo)電薄膜、等離子體增強(qiáng)化學(xué)的氣相沉積法（PECVD）制備非晶/微晶硅疊層電池技術(shù)的研究，開(kāi)發(fā)了非晶/微晶硅薄膜太陽(yáng)電池生產(chǎn)線的LPCVD、PECVD關(guān)鍵核心裝備和成套制造工藝技術(shù)。最終建成了年產(chǎn)60MW、擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、關(guān)鍵設(shè)備采用國(guó)產(chǎn)設(shè)備的自主集成硅基疊層薄膜電池和組件生產(chǎn)線，完全掌握了高效硅基薄膜電池相關(guān)工藝、產(chǎn)品技術(shù)、生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)，并進(jìn)行了規(guī)?；a(chǎn)。經(jīng)南德認(rèn)證檢測(cè)集團(tuán)（T?V SUD）檢測(cè)，全面積組件的穩(wěn)定功率為143.2峰瓦，穩(wěn)定光電轉(zhuǎn)換效率為10.02%。

項(xiàng)目實(shí)施帶動(dòng)了一大批國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備制造商發(fā)展，促進(jìn)其對(duì)產(chǎn)品性能的研發(fā)和技術(shù)革新，提高國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備性能，帶動(dòng)行業(yè)持續(xù)健康發(fā)展。