河南日報記者 李宗寬 河南日報社全媒體記者 范坤鵬
7月11日,在位于洛陽高新區(qū)的洛陽單晶硅集團(tuán)控股子公司麥斯克電子材料股份有限公司(以下簡稱麥斯克電子)超凈車間里,單晶硅棒經(jīng)過切割、倒角、化學(xué)清洗以及拋光,一片片光滑如鏡的銀灰色硅拋光片被送到自動化設(shè)備上接受質(zhì)量檢測。
“今年上半年,我們克服不利因素,全力以赴拼經(jīng)濟(jì),企業(yè)運(yùn)行平穩(wěn)有序。”洛陽單晶硅集團(tuán)總經(jīng)理兼麥斯克電子董事長史建強(qiáng)告訴記者,“我們的8英寸硅拋光片不僅替代進(jìn)口,還逐步走向了國際市場。”作為中部地區(qū)首家具備規(guī)?;a(chǎn)IC級8英寸硅拋光片能力的高新技術(shù)企業(yè),麥斯克電子已具備100萬片年產(chǎn)能,產(chǎn)品銷往美國、韓國、新加坡、日本、印度等國家。
硅拋光片是芯片等產(chǎn)品的上游原材料,然而,在大直徑半導(dǎo)體硅片領(lǐng)域,我國對于進(jìn)口的依賴程度依舊較高。“尺寸越大,可制造的芯片數(shù)量就越多,相應(yīng)成本就越低。”史建強(qiáng)介紹,麥斯克電子的拳頭產(chǎn)品為4至8英寸硅拋光片,盡管每次迭代產(chǎn)品只有2英寸的差別,但是每次提升工藝控制的難度都成倍地增加,在研發(fā)和生產(chǎn)的每個環(huán)節(jié),都要精益求精。
領(lǐng)跑的背后是科研的強(qiáng)力支撐。麥斯克電子是國務(wù)院國資委科改示范企業(yè)和國家級專精特新“小巨人”企業(yè),公司建有企業(yè)技術(shù)中心、大尺寸硅拋光片工程技術(shù)研究中心及先進(jìn)硅基低阻值電子材料工程研究中心等三個省級研發(fā)平臺,致力于半導(dǎo)體硅片加工技術(shù)的研究和半導(dǎo)體硅材料產(chǎn)業(yè)自主水平的提升。麥斯克電子“工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺賦能硅基底材料全生命周期質(zhì)量管控解決方案”入選工信部發(fā)布的“工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺+質(zhì)量管理試點(diǎn)示范”名單。通過持續(xù)探索大規(guī)模集成電路硅拋光片智能化制造的新路徑,麥斯克電子以數(shù)字化助力“中國芯”加速崛起。
目前,麥斯克電子與國內(nèi)知名設(shè)備廠商聯(lián)合,在國內(nèi)首創(chuàng)完成了半導(dǎo)體硅片用金剛線設(shè)備和切割工藝的開發(fā)。麥斯克電子還與國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈上下游建立了穩(wěn)固的合作關(guān)系,積極推進(jìn)設(shè)備與原材料國產(chǎn)化進(jìn)程;在原材料方面,與省內(nèi)多家知名企業(yè)密切合作,帶動產(chǎn)業(yè)鏈上下游共同發(fā)展。
“我們正在積極向半導(dǎo)體硅片領(lǐng)域進(jìn)行縱深布局,將充分利用技術(shù)積淀優(yōu)勢,整合和優(yōu)化現(xiàn)有產(chǎn)業(yè)鏈,提升企業(yè)價值和競爭力,為河南省加速搶灘半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、實施換道領(lǐng)跑戰(zhàn)略作出國資國企貢獻(xiàn)?!笔方◤?qiáng)表示。