大學(xué)是國(guó)家科研的中堅(jiān)力量,對(duì)先進(jìn)技術(shù)的開發(fā),培養(yǎng)相關(guān)領(lǐng)域的人才有著重要貢獻(xiàn)。傳感器、芯片等半導(dǎo)體重要卡脖子技術(shù)領(lǐng)域,相關(guān)大學(xué)的研發(fā)力量更是舉足輕重,盤點(diǎn)當(dāng)今中國(guó)傳感器領(lǐng)域30所大學(xué)頂尖研發(fā)力量。
(圖片來(lái)源:清華大學(xué)精密儀器系宣傳片)
1、清華大學(xué)
主要研究方向:MEMS傳感器、智能傳感器、諧振式傳感器、力傳感器、生物化學(xué)傳感器、柔性傳感器、慣性傳感器等
主要研究院系:精密儀器系、信息科學(xué)技術(shù)學(xué)院-集成電路學(xué)院
主要研究單位:精密測(cè)試技術(shù)與儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、生物醫(yī)學(xué)檢測(cè)技術(shù)及儀器北京實(shí)驗(yàn)室、微納電子學(xué)研究所,微納器件與系統(tǒng)研究室等
清華大學(xué)精密儀器系淵源于1932年成立的清華大學(xué)工學(xué)院機(jī)械工程學(xué)系,1959年增設(shè)精密儀器專業(yè),1960年正式成立精密儀器及機(jī)械制造系,1971年始改精密儀器系,下設(shè)光電所、測(cè)試、傳感器、微機(jī)械、微細(xì)工程、導(dǎo)航中心、激光室等單位。
(圖片來(lái)源:清華大學(xué)精密儀器系宣傳片)
清華大學(xué)精密儀器系建有精密測(cè)試技術(shù)與儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、光盤國(guó)家工程研究中心、智能微系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、高精度導(dǎo)航技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、光子測(cè)控技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、生物醫(yī)學(xué)檢測(cè)技術(shù)及儀器北京實(shí)驗(yàn)室、微米納米技術(shù)研究中心、清華大學(xué)宇航技術(shù)研究中心、清華大學(xué)質(zhì)譜儀器研究中心、清華大學(xué)類腦計(jì)算研究中心,以及國(guó)家級(jí)示范教學(xué)基地等多個(gè)教學(xué)科研機(jī)構(gòu),是全國(guó)國(guó)家級(jí)教學(xué)科研機(jī)構(gòu)最多的院系之一。
(圖片來(lái)源:清華大學(xué)精密儀器系宣傳片)
此外,清華大學(xué)具有微米/納米技術(shù)研究中心和電子封裝技術(shù)研究中心,具有完備的MEMS加工技術(shù)與設(shè)備,以及鐵電/壓電、磁電子等新型材料、器件的工藝加工條件。在疊層芯片技術(shù)、系統(tǒng)級(jí)封裝、MEMS封裝等方面都有較高水平。
(圖片來(lái)源:清華大學(xué)精密儀器系宣傳片)
主要研究團(tuán)隊(duì):
陳煒教授(長(zhǎng)江學(xué)者):集成電路學(xué)院微納器件與系統(tǒng)研究室主任,清華大學(xué)“百人計(jì)劃”特聘教授。
任天令教授(長(zhǎng)江學(xué)者):主要研究方向?yàn)橹悄芪⒓{電子器件、芯片與系統(tǒng),如智能傳感器與智能集成系統(tǒng)、可穿戴器件與系統(tǒng),其中也包括微納聲學(xué)器件與系統(tǒng)(音頻、超聲影像等)和集成微傳感器等。
劉澤文教授主要從事射頻和微波MEMS器件。
王喆垚教授從事生物MEMS傳感器研究。
王曉紅教授主要從事能源MEMS研究。
官網(wǎng):
https://www.dpi.tsinghua.edu.cn/
2、天津大學(xué)精密儀器與光電子學(xué)院
主要研究方向:光纖傳感器
主要研究單位:光電信息技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院(簡(jiǎn)稱精儀學(xué)院)的前身是成立于1952年的精密機(jī)械儀器專業(yè)。1959年成立精密儀器工程系,1995年10月2日在原精密儀器工程系基礎(chǔ)上成立了精密儀器與光電子工程學(xué)院,下設(shè)四個(gè)系:精密儀器工程系、光電信息工程系、光電子科學(xué)技術(shù)系、生物醫(yī)學(xué)工程與科學(xué)儀器系。