維薩拉半導體行業(yè)用折光儀 PR-33-S

適用于半導體液態(tài)化學品測量

該折光儀外形緊湊，流通池采用改良超純 PTFE 制成，適用于半導體液態(tài)化學品測量。可通過 ? 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或擴口 Flare 連接。

維薩拉半導體行業(yè)用折光儀 PR-33-S 用于晶圓潔凈室里的化學品濃度監(jiān)測，通常被安裝在混合、清洗、蝕刻和 (CMP) 等機臺上。

PR-33-S 包含一個超純改性 PTFE 流通池主體和一根以太網(wǎng)線，不同標準的以太網(wǎng)供電 (PoE) 開關均可通過以太網(wǎng)線向傳感器供電，并將數(shù)據(jù)傳輸給計算機。PR-33-S 實時監(jiān)測化學品濃度，當化學品濃度超出規(guī)定范圍時，立即通過以太網(wǎng)反饋報警。例如，可通過配置低濃度和高濃度警報來控制和延長溶液使用壽命。這里的濃度通過對溶液折射率 nD 和溫度測量來確定。

PR-33-S 直接通過喇叭形或pillar配件進行安裝。PR-33-S 結(jié)構(gòu)緊湊，不含金屬，體積小。

關鍵要素：

? N.I.S.T. 標準下的可追溯校準及驗證，采用標準折射率液體和驗證程序進行驗證。

? 光學核心設計。

? 通過以太網(wǎng)進行數(shù)據(jù)記錄和遠程界面操作。

? 標準 UDP/IP 通信。

? 過程溫度范圍：-20°C – 85°C (-4°F – 185°F)。

? 內(nèi)置 Pt1000 快速溫度測量及自動溫度補償 。