在測(cè)試執(zhí)行期間記錄每個(gè)引腳的狀態(tài)。測(cè)試完成后，實(shí)際的總線(xiàn)流量(命令和DUT響應(yīng))可以從硬件上傳到DIOEasy，允許用戶(hù)評(píng)估和/或記錄I2C總線(xiàn)通信。

測(cè)試過(guò)程

Continuity 連續(xù)性

每個(gè)GX5295 I/O通道提供的每引腳PMU功能用于對(duì)通過(guò)每個(gè)DUT的ESD二極管產(chǎn)生一個(gè)小電流，測(cè)量二極管上產(chǎn)生的電壓降，以確定DUT是否正確安裝在其插座中。在此之前，需要啟用上拉隔離繼電器，因此流經(jīng)I2C上拉電阻的電流不會(huì)破壞連續(xù)性測(cè)量。設(shè)備根據(jù)PASS/FAIL狀態(tài)分類(lèi)。任何具有FAIL容器狀態(tài)的設(shè)備都會(huì)繞過(guò)未來(lái)的測(cè)試評(píng)估。

Sensor Initialization 傳感器初始化

在將DUT暴露于測(cè)試氣體并測(cè)量MOX電阻之前，必須初始化傳感器。初始化讀取相關(guān)的NVM（非易失性存儲(chǔ)器）數(shù)據(jù)并存儲(chǔ)它以用于將來(lái)的數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)。它還根據(jù)存儲(chǔ)的加熱器電阻和當(dāng)前腔室溫度動(dòng)態(tài)計(jì)算每個(gè)DUT的最小和最大允許MOX電阻值。這些值被存儲(chǔ)以供將來(lái)使用。氣體測(cè)試將在確定好/壞設(shè)備時(shí)使用這些值。

Gas Measurement 氣體測(cè)量

氣體測(cè)量測(cè)試是MOX氣體傳感器生產(chǎn)測(cè)試的核心。一旦初始化，所有室內(nèi)的所有裝置都暴露于“干凈/干燥空氣”（CDA），“加濕空氣”（通過(guò)起泡器運(yùn)行CDA-BBL）和“測(cè)試氣體”的受控混合物中。使用可編程質(zhì)量流量控制器MFC精確控制氣體混合物（PPM）。三個(gè)MFC中每一個(gè)都是通過(guò)0V-5V的應(yīng)用程序進(jìn)行控制，分別表示占額定流量的0%-100%。每個(gè)腔室/負(fù)載板中包含第四個(gè)MFC。MFC控制電壓由GX5295s的J3連接器上的輔助PMU通道提供。

在氣體測(cè)試期間，測(cè)試氣體的濃度和每個(gè)特定濃度的暴露時(shí)間由“浸泡列表”定義。浸泡列表包含三種氣體的設(shè)定點(diǎn)，以及在移動(dòng)到列表中的下一個(gè)設(shè)定點(diǎn)之前保持該濃度的持續(xù)時(shí)間。在規(guī)定的時(shí)間段結(jié)束時(shí)，進(jìn)行MOX測(cè)量，與先前計(jì)算的MOX最小/最大值進(jìn)行比較并記錄。其它分箱設(shè)置類(lèi)似。

為了簡(jiǎn)化浸泡參數(shù)的應(yīng)用，在ATEasy中創(chuàng)建了一個(gè)表單(圖8)，允許工程師使用GUI創(chuàng)建浸泡列表?？梢蕴砑?、插入、修改和刪除設(shè)置點(diǎn)。在執(zhí)行過(guò)程中，GUI會(huì)突出顯示測(cè)試過(guò)程在列表中的位置，為操作人員提供測(cè)試運(yùn)行了多長(zhǎng)時(shí)間，以及完成測(cè)試需要多長(zhǎng)時(shí)間的指示。

在運(yùn)行浸泡列表時(shí)可以啟用的一個(gè)可選參數(shù)是進(jìn)行中間MOX測(cè)量——在浸泡列表設(shè)置點(diǎn)之間進(jìn)行測(cè)量。通過(guò)在漫長(zhǎng)的測(cè)試中記錄這些額外的測(cè)量值，提供MOX操作的其它特征數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)日志記錄的“Off”選項(xiàng)，僅在設(shè)置點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量，每分鐘測(cè)試“2”、“4”、“6”測(cè)量值。中間測(cè)量值保存到Excel數(shù)據(jù)日志文件中，但不用于評(píng)估通過(guò)/失敗狀態(tài)。

Pre-Initialization預(yù)初始化

設(shè)備由合同制造商(CM)提供，設(shè)備的非易失性存儲(chǔ)器(NVM)中已經(jīng)存儲(chǔ)了一些信息，如產(chǎn)品ID、相關(guān)跟蹤號(hào)、加熱器電阻和測(cè)量電阻的環(huán)境溫度、從地址等。預(yù)初始化測(cè)試允許工程師用新數(shù)據(jù)覆蓋NVM。這不是在生產(chǎn)過(guò)程中使用的正常測(cè)試過(guò)程。相反，它常常用于讓工程師在設(shè)備上運(yùn)行特性測(cè)試，并完全控制所有DUT參數(shù)。

Sensor Aging 傳感器老化測(cè)試

傳感器老化測(cè)試也不是常規(guī)生產(chǎn)測(cè)試的一部分。它常常用來(lái)表征模擬老化過(guò)程下的MOX特性。老化測(cè)試將CDA運(yùn)行到加熱器溫度延長(zhǎng)的部件上，用戶(hù)定義1分鐘的循環(huán)次數(shù)。在此過(guò)程中收集分析數(shù)據(jù)，在老化試驗(yàn)結(jié)束時(shí)進(jìn)行正常氣體試驗(yàn)，記錄MOX特征。

DUT Polling  DUT輪詢(xún)測(cè)試