為GX7305的前面板設(shè)計(jì)的專用ITA，允許在測試系統(tǒng)資源和加載板之間進(jìn)行簡單、干凈的布線。PXI儀器線纜和外部E36313A電源線與ITA背板的連接器進(jìn)行適配，當(dāng)鉸鏈面板關(guān)閉時，連接器是隱藏在內(nèi)部的。ITA的前面板有連接到負(fù)載板的線纜、質(zhì)量流量控制器和排氣閥的連接裝置（如圖4）。

圖5詳細(xì)描述了測試系統(tǒng)資源和相關(guān)的ITA結(jié)構(gòu)框圖。

氣體控制

為了精確控制氣體對DUT的曝光量，專門設(shè)計(jì)了一個封閉的環(huán)境(chamber)來容納負(fù)載板，并將測試氣體限制在一個有限的空間內(nèi)。通過質(zhì)量流量控制器(MFCs)將氣體引入到這個封閉的空間中，質(zhì)量控制器測量潔凈干燥空氣、濕化空氣和測試氣體，允許它們精確地混合，以達(dá)到所需的氣體密度(單位為百萬分之一)。還為每個chamber提供了一個單獨(dú)的MFC，以便測量混合氣體到封閉室的控制體積。MFC的控制是使用GX5295的J3連接器上的外部PMU通道來執(zhí)行的。

測試完成后，使用排氣閥將測試氣體從負(fù)載板的封閉室內(nèi)排出。排氣閥是通過電磁閥進(jìn)行操作，所需的電源由E36313A電源供給，控制是通過ITA上面的12V的開關(guān)繼電器進(jìn)行控制。

軟件

控制系統(tǒng)的軟件是使用的ATEasy 10。軟件控件的編寫方便了后期系統(tǒng)的擴(kuò)展。ATEasy支持多線程應(yīng)用。對于每個GX5295/負(fù)載板 /chamber（封閉室），ATEasy實(shí)例化一個單獨(dú)的線程來處理測量數(shù)據(jù)并生成數(shù)據(jù)日志報(bào)告。ATEasy測試應(yīng)用程序可查詢系統(tǒng)中安裝的GX5295的數(shù)量（每64個站點(diǎn)的負(fù)載板對應(yīng)一個GX5295），然后為每個負(fù)載板動態(tài)分配一個線程。處理所有線程中共有的線程，如：初始化每個負(fù)載板上并行運(yùn)行的數(shù)字測試模式，方便使用線程進(jìn)行同步。

ATEasy測試應(yīng)用程序中的驅(qū)動包括GX5295、GX5733、Keysight 電源模塊、GX7305機(jī)箱控制器以及一個用于管理數(shù)據(jù)日志記錄的Excel電子表格驅(qū)動程序。在GX5733靜態(tài)數(shù)字設(shè)備上構(gòu)建了一個MOX驅(qū)動程序，用于簡化對負(fù)載板的控制。

交付的包中包含用于高級創(chuàng)建I2C總線模式、連接和加載I2C總線序列以及下載捕獲的I2C總線流量進(jìn)行診斷和分析的工具。將數(shù)據(jù)記錄到Excel電子表格中可以方便地使用Excel的所有高級數(shù)據(jù)分析工具，如圖形、過濾器和公式的應(yīng)用。

與DUT的通信是通過I2C總線完成的。如上所述，每個設(shè)備都預(yù)先配置了相同的I2C從地址。如果所有DUT都駐留在同一個I2C總線上，那么在進(jìn)行測試之前，需要用唯一的從地址對每個設(shè)備重新編程，以避免總線沖突，然后將從地址重新編程為默認(rèn)值，以便交付給客戶。使用每個設(shè)備的專用總線允許發(fā)生在該默認(rèn)地址上的所有通信，節(jié)省了時間和金錢，也可以避免潛在的認(rèn)為錯誤。一個獨(dú)立的GX5295有32個I/O通道可以允許8組I2C總線同事進(jìn)行通訊，而無須考慮地址沖突問題。

I2C測試模式是通過一個用ATEasy編寫的簡單應(yīng)用程序生成的（如圖6）?？偩€命令是使用預(yù)先定義的總線命令的下拉菜單構(gòu)造的，用于對設(shè)備寄存器進(jìn)行讀/寫操作?？臻e命令還允許在需要空閑時間的命令之間插入空閑時間，或者作為數(shù)據(jù)模式中的可視分隔。

基于測試流程的需求，需要對單個設(shè)備生成一系列的命令。然后使用用于生成和診斷GX5295數(shù)字測試模式的工具DIOEasy(如圖7)，將單個(四線)總線控制復(fù)制到GX5295支持的其余7個總線上。每個測試進(jìn)程都被寫為一系列獨(dú)立的測試序列，所以可以以任何想要的順序進(jìn)行組合。

執(zhí)行這種組合的ATEasy包含一個離線實(shí)用程序，它可以生成一個大型的測試文件，在系統(tǒng)初始化期間快速加載到測試硬件中。為了幫助調(diào)試和診斷，也將生成一個文本文件，其中會標(biāo)識加載測試的順序、他們的初始向量地址和每個模式序列中的模式大小。