泰克科技公司日前宣布，為Keithley 4200A-SCS參數(shù)分析儀推出兩款最新源測(cè)量單元(SMU)模塊，即使在由于長(zhǎng)電纜和復(fù)雜的測(cè)試設(shè)置而產(chǎn)生高負(fù)載電容時(shí)，其仍能執(zhí)行低電流測(cè)量。許多主要測(cè)試應(yīng)用都面臨著這一挑戰(zhàn)，如LCD顯示器制造和卡盤(pán)上的納米FET器件測(cè)試。

在被測(cè)器件本身電容很小的情況下，許多低電流測(cè)量應(yīng)用中所需要的測(cè)試設(shè)置也會(huì)增加SMU輸出端的電容。當(dāng)測(cè)試連接電容太大時(shí)，最終的低電流測(cè)量結(jié)果可能會(huì)變得不穩(wěn)定。為解決這些挑戰(zhàn)，新模塊在提供電壓和測(cè)量電流時(shí)，支持的電纜長(zhǎng)度和連接電容都要超過(guò)傳統(tǒng)SMU。

最新4201-SMU和4211-SMU是為采用長(zhǎng)電纜、開(kāi)關(guān)矩陣、通過(guò)柵極接觸卡盤(pán)及其他夾具的測(cè)試裝置專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的。這就讓研究人員和制造測(cè)試工程師節(jié)省了大量的時(shí)間和成本，而這些時(shí)間和成本本來(lái)可以花費(fèi)在故障排除和重新配置測(cè)試設(shè)置上。

“ 因?yàn)橐档碗娏鱽?lái)節(jié)省能耗，精細(xì)測(cè)試裝置所產(chǎn)生的高負(fù)載電容正成為一個(gè)日益嚴(yán)重的問(wèn)題。在測(cè)試智能手機(jī)或平板電腦采用的大型LCD面板時(shí)，就面臨著同樣的問(wèn)題。我們的新模塊特別擅長(zhǎng)進(jìn)行穩(wěn)定的低電流測(cè)量，并將立即使我們的許多現(xiàn)有和未來(lái)的客戶受益?！?泰克科技公司吉時(shí)利系統(tǒng)和軟件總經(jīng)理Peter Griffiths表示。

在最低電流測(cè)量范圍內(nèi)，4201-SMU和4211-SMU可以提供和測(cè)量的系統(tǒng)電容要比當(dāng)前水平高出1,000倍。

例如，如果電流在1~100pA(皮安)之間，那么最新吉時(shí)利模塊可以在低達(dá)1μF(微法拉)的負(fù)載電容下保持穩(wěn)定。相比之下，同類(lèi)產(chǎn)品最多只能容忍1,000pF(皮法)的負(fù)載電容，之后測(cè)量穩(wěn)定性就會(huì)劣化，這要比最新吉時(shí)利模塊差1,000倍。

4201-SMU和4211-SMU在訂貨時(shí)可以預(yù)先配置一個(gè)4200A-SCS，構(gòu)成全面的參數(shù)分析解決方案；也可以現(xiàn)場(chǎng)輕松升級(jí)現(xiàn)有的設(shè)備，不需把設(shè)備發(fā)送到服務(wù)中心，可望節(jié)省幾周的中斷時(shí)間。

關(guān)于4200A-SCS

4200A-SCS是一種可以量身定制的全集成參數(shù)分析儀，可以同步查看電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)和超快速脈沖式I-V特點(diǎn)，加快半導(dǎo)體、材料和工藝開(kāi)發(fā)和制造過(guò)程。每臺(tái)4200A-SCS可以配置最多9個(gè)SMU。該系統(tǒng)的Clarius軟件用戶界面擁有觸控和滑動(dòng)或點(diǎn)擊控制功能，支持在現(xiàn)代半導(dǎo)體、材料和工藝表征中進(jìn)行高級(jí)測(cè)試定義、參數(shù)分析、圖表繪制和自動(dòng)化。