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臺積電為保證光罩運輸質(zhì)量選擇MSR沖擊振動記錄儀


  來源: 虹科環(huán)境監(jiān)測技術(shù) 時間:2023-08-03 編輯:儀器儀表WXF
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晶圓運輸需要注意什么?


晶圓運輸是半導(dǎo)體制造過程中極為關(guān)鍵和敏感的一環(huán)。在晶圓運輸過程中,需要注意以下幾點:


1、靜電防護

晶圓非常容易受到靜電的干擾,因此在運輸過程中需要遵守嚴(yán)格的靜電防護措施。使用適當(dāng)?shù)撵o電防護包裝材料和避免靜電產(chǎn)生的行為,如使用導(dǎo)電鞋墊和穿戴適當(dāng)?shù)姆漓o電服裝。


2、真空環(huán)境

晶圓在運輸過程中需要處于潔凈和真空的環(huán)境中,以防止灰塵和污染物對晶圓的影響。運輸過程中應(yīng)使用密封良好的容器和避免碰撞或振動。


3、溫度和濕度控制

晶圓對溫度和濕度變化非常敏感,因此在運輸過程中需要嚴(yán)格控制這些參數(shù)。使用恒溫恒濕的運輸設(shè)備和確保適當(dāng)?shù)臏貪穸确秶?,以防止晶圓受損或質(zhì)量受影響。


4、防震和防震

晶圓是非常脆弱和易碎的,需要避免碰撞和震動。在運輸過程中,應(yīng)使用適當(dāng)?shù)姆勒鸢b和避免粗暴的操作,以保護晶圓的完整性。


5、運輸記錄和追蹤

為了確保晶圓的運輸過程可追蹤和監(jiān)控,應(yīng)使用適當(dāng)?shù)倪\輸記錄和追蹤系統(tǒng)。這將有助于追蹤晶圓的位置和狀態(tài),以及及時處理任何潛在的問題。


因此晶圓運輸需要非常嚴(yán)格的控制和保護措施,以確保晶圓的質(zhì)量和完整性不受損害。




虹科MSR175Plus能夠做到什么?


HK-MSR175Plus

虹科MSR175plus的主要功能是監(jiān)測和記錄運輸過程中的溫度、濕度、壓力和位置數(shù)據(jù)。它配備了內(nèi)置的GPS模塊,可以準(zhǔn)確記錄物品的位置信息,并可通過無線方式將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接嬎闫骰蛞苿釉O(shè)備上進行分析和評估。


這款產(chǎn)品非常適合用于物流和運輸行業(yè),特別是在需要對貨物進行長途運輸或特殊環(huán)境下的監(jiān)測時。它可以幫助用戶實時監(jiān)測運輸過程中的溫度和濕度變化,以確保貨物的質(zhì)量和完整性。



虹科MSR175plus具有高精度和可靠性,能夠提供詳細(xì)的數(shù)據(jù)報告和圖表,以便用戶進行分析和比較。該設(shè)備還具有耐用的外殼,能夠承受艱苦的運輸環(huán)境,并具有長電池壽命,確保長時間的監(jiān)測工作。


使用虹科MSR175plus,您可以有效地管理和控制運輸過程中的各種參數(shù),以確保產(chǎn)品的安全性和質(zhì)量。這對于需要高度可靠監(jiān)測的行業(yè),例如食品和藥品行業(yè),尤其有用。


總之,虹科MSR175plus是一款功能強大的 GPS 數(shù)據(jù)記錄器,為運輸監(jiān)測提供了全面的解決方案,幫助用戶實時監(jiān)測貨物的溫度、濕度、壓力和位置,確保貨物在運輸過程中的安全和質(zhì)量。


臺積電工程師專訪


Q1:

虹科MSR175plus沖擊運輸數(shù)據(jù)記錄儀」在臺積電主要應(yīng)用在哪些場域?(用在哪些產(chǎn)品的運輸?每一趟運輸?shù)臅r間、距離?)

A1:

我們將虹科MSR175Plus應(yīng)用在臺灣與美國的運輸中。因為在運輸過程中會產(chǎn)生量的上下左右振動,所以我們需要了解傳送振動的實際g値,并且規(guī)范出最大的振動范圍。平均一趟的來回運輸時間約為 9 天,距離約 25,000 公里。


Q2:

眾多相關(guān)產(chǎn)品之中,臺積電為何選擇「虹科MSR 175plus」?(哪些特點吸引購買?價格、質(zhì)量、功能性…?它跟其他類似的替代方案比有哪些更好的特點?)

A2:

由于我們需進行長距離的測試,虹科MSR175plus本身具有的高電量與高內(nèi)存特性,讓測量變得較為容易,有些廠商會因為時間一長,振動數(shù)據(jù)記錄太多,而內(nèi)存容量不夠?qū)е聰?shù)據(jù)遺失。


Q3:

在使用「虹科MSR175plus」的過程中,它對臺積電的工作或業(yè)務(wù)產(chǎn)生了什么樣的幫助?(運輸過程中的安全性產(chǎn)生了什么影響?相較之前使用的產(chǎn)品是否有哪些層面提升?)

A3:

使用虹科MSR175Plus后能幫助臺積電更了解振動對光罩的影響,并且實際規(guī)范出量化的數(shù)值,防范未來振動對光罩的影響,提升光罩傳送的成功率。


Q4:

這是屬于一次性的需求嗎?之后國內(nèi)外的廠房建置是否會有復(fù)制需求?

A4:

未來光罩在往返臺灣與美國的途中,會添置虹科MSR數(shù)據(jù)記錄儀以監(jiān)測運輸過程中所產(chǎn)生的振動數(shù)值。


Q5:

最后,作為臺積電的工程師,您會推薦這項產(chǎn)品嗎?(是/否。推薦原因?推薦給哪些人使用?)

A5:

會,非常推薦給需要量化振動數(shù)據(jù)的廠商或工程師們使用!

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