該中試線由清華大學、淄博高新區(qū)MEMS研究院和國高(淄博)微系統(tǒng)科技有限公司共同完成。已具備MEMS陀螺、加速度計、繼電器/開關(guān)器件標準中試代工初步能力，完成45個單項工藝和19個產(chǎn)品工藝。

7、廣州奧松電子——6吋MEMS半導體傳感器芯片生產(chǎn)線

2020年，廣州奧松電子有限公司（簡稱“奧松電子”）6吋MEMS半導體傳感器芯片生產(chǎn)線正式投入運營，成功量產(chǎn)出溫濕度、流量、氣體、差壓、風速等傳感器芯片。

奧松電子MEMS半導體生產(chǎn)線一期工程為500納米MEMS半導體工藝制程，生產(chǎn)設備約占整個投資規(guī)模的70%。根據(jù)規(guī)劃，2021年二期工程將建成350納米制程工藝MEMS半導體生產(chǎn)線；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導體生產(chǎn)線；總項目全部建成投產(chǎn)后，每月流片規(guī)模將達到4萬片，滿足奧松電子自身需求及粵港澳大灣區(qū)各類MEMS半導體芯片的代工需求。

8、賽微電子——8吋MEMS國際代工線

賽微電子于2016年收購全球MEMS代工廠中排名第二的瑞典Silex，可生產(chǎn)加速度傳感器、慣性傳感器、流量傳感器、紅外傳感器等多種MEMS傳感器，光學器件、生物器件、硅麥克風等多種MEMS器件，以及各種MEMS基本結(jié)構(gòu)模塊。瑞典產(chǎn)線在 2017-2020 年進行了超過 3 億元人民幣的資本投入，2020 年 9月，瑞典原有 6 吋產(chǎn)線（FAB1）升級切換成 8吋產(chǎn)線，合計 MEMS 晶圓產(chǎn)能提升至 7,000片/月的水平。

圖：賽微電子董事長總經(jīng)理楊云春手持北京FAB3生產(chǎn)的8吋MEMS麥克風晶圓

獲得對Silex的控股后，賽微電子在北京建設了MEMS晶圓代工廠，以擴大該公司的產(chǎn)能。2021年6月10日正式啟動量產(chǎn)，北京 MEMS 產(chǎn)線的建設總產(chǎn)能為 3 萬片/月。

9、中芯集成電路制造（紹興）——8吋MEMS生產(chǎn)線

2018年3月1日，中芯紹興項目舉行簽約儀式，項目首期投資58.8億元人民幣。2018年5月18日，中芯紹興8吋廠房項目舉行奠基儀式。2019年11月，紹興的生產(chǎn)線順利投產(chǎn)，2020年在紹興舉辦的集成電路產(chǎn)業(yè)峰會上，中芯介紹稱，紹興的產(chǎn)能達到每月4萬片。中芯國際的MEMS方案主要集中在MEMS麥克風、加速度計、陀螺儀、壓力、顯微鏡、超聲波傳感器、射頻器件。

10、華潤微電子——6吋、8吋MEMS生產(chǎn)線

華潤微電子MEMS產(chǎn)線是國內(nèi)規(guī)模最大的與CMOS生產(chǎn)線兼容的MEMS傳感器量產(chǎn)生產(chǎn)線，并已自主研發(fā)多套具有國內(nèi)領(lǐng)先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術(shù)，用于制造壓力、硅麥克風、光電、溫濕度等MEMS傳感器。

公司IPO募投項目中，8吋MEMS的3000片/月產(chǎn)能擴充已經(jīng)完成，可以投入使用。公司光電及MEMS麥克風工藝平臺從6吋升級到8吋，實現(xiàn)批量生產(chǎn)，產(chǎn)品性能及良率水平優(yōu)秀；整體提升了公司MEMS工藝技術(shù)水平和競爭能力。

11、華虹宏力——8吋CMOS-MEMS制造平臺

華虹宏力工藝技術(shù)覆蓋1微米至90納米各節(jié)點，在標準邏輯、嵌入式非易失性存儲器、混合信號、射頻、高壓、圖像傳感器、電源管理、功率器件工藝等領(lǐng)域形成了具有競爭力的先進工藝平臺，并正在建立微機電系統(tǒng)（MEMS）工藝平臺。

華虹宏力在8吋CMOS-MEMS制造平臺上，成功實現(xiàn)了MEMS器件與標準CMOS工藝及生產(chǎn)線的全兼容，可為客戶提供單芯片集成CMOS-MEMS體硅和表硅工藝。已流片的產(chǎn)品包括磁力計、加速度計、壓力傳感器等。

12、上海先進（并入積塔半導體）——MEMS生產(chǎn)線

上海先進（并入積塔半導體）是國內(nèi)最早從事汽車電子芯片、IGBT芯片和MEMS芯片制造的企業(yè)。目前，擁有5吋、6吋、8吋晶圓生產(chǎn)線和MEMS獨立生產(chǎn)線各一條，專注于模擬電路、功率器件和MEMS芯片的制造。

2011年9月MEMS生產(chǎn)線建成三軸陀螺儀工藝平臺（就是手機上用方向傳感器）。其MEMS 生產(chǎn)線可以代工的器件包括：三軸陀螺儀、加速度計、生物MEMS芯片、光學MEMS、RF MEMS、微流體開關(guān)、壓力傳感器等，可被廣泛應用于消費電子，醫(yī)療電子以及汽車電子等領(lǐng)域。目前，此MEMS生產(chǎn)線擁有世界最先進的深槽刻蝕、鍵合、硅片邊緣修整等設備，設計月產(chǎn)量可達3000片。