eLichens的超低功率二氧化碳傳感器（來源：eLinchens）
ELichen還開發(fā)了設(shè)計HVAC通風系統(tǒng)所需的技術(shù)解決方案。
在通風開發(fā)中，一個關(guān)鍵是要考慮一種系統(tǒng)，該系統(tǒng)不僅可以減少Co2的含量，而且不會降低Co2的濃度，以至于對用戶造成不好的影響，畢竟室內(nèi)空氣質(zhì)量是影響智力和整體健康的重要因素。為了測量室內(nèi)空氣質(zhì)量并將此信息提供給通風系統(tǒng)，eLichens開發(fā)了傳感器來測量多種類型的室內(nèi)污染物：二氧化碳（CO2），揮發(fā)性有機化合物（VOC）和顆粒物（PM2.5和PM10）。
ELichens的技術(shù)可以類似地應(yīng)用于智能城市，燃氣泄漏監(jiān)測，智能家居和客艙汽車。
6、Innoluce BV
Inoluce是ToF LiDAR微型激光掃描模塊的開發(fā)商，于2016年10月被英飛凌收購。
它知名的產(chǎn)品是由硅制成的獲得專利的1D MEMS反射鏡。據(jù)說該技術(shù)可自由更改反射鏡直徑和頻率，同時保持光學性能。這使諧振式1D MEMS反射鏡技術(shù)能夠提供不同的功能和廣泛的應(yīng)用范圍。
Innoluce激光掃描模塊（可根據(jù)客戶特定配置進行調(diào)整）包含帶有ASIC的MEMS反射鏡，用于控制和驅(qū)動MEMS.（來源：Innoluce）
7、Innoviz
Innoviz是一家由以色列國防軍技術(shù)部門前成員于2016年在以色列成立的初創(chuàng)公司。Innoviz專注于“以大眾市場采用所需的成本和尺寸”為自動駕駛汽車開發(fā)激光雷達傳感器，其產(chǎn)品基于固態(tài)設(shè)計。
該初創(chuàng)企業(yè)與眾多戰(zhàn)略合作伙伴和頂級投資者建立了聯(lián)系。他們包括Aptiv（德爾福汽車公司），Magna International,三星，韓國軟銀風險投資公司，360 Capital Partners,Glory Ventures和Naver.
Innoviz的總資金已達到2億多美元。最新的融資消息是2019年，Innoviz獲得1.32億美元C輪融資。本輪融資確保了Innoviz的生產(chǎn)、制造和研發(fā)的順利推進。2021年其固態(tài)激光雷達也將能夠按時交付。
8、MEMS Drive
MEMS Drive成立于2014年，是基于MEMS的執(zhí)行器設(shè)備的開發(fā)商。其目標是設(shè)計用于移動設(shè)備的光學圖像穩(wěn)定（OIS）技術(shù)。
這家初創(chuàng)公司開發(fā)了用于智能手機中的首個5軸OIS（光學圖像穩(wěn)定）技術(shù)，通過移動傳感器，MEMS OIS可以針對攝像機的運動提供快速而準確的圖像穩(wěn)定。
MEMS Drive的光學圖像穩(wěn)定技術(shù)使成像器可以移動，而無需移動鏡筒進行調(diào)整。它的優(yōu)點是無論使用哪種鏡筒或成像器格式，圖像都將穩(wěn)定下來，并且沒有鏡筒傾斜會降低圖像質(zhì)量。（來源：MEMS驅(qū)動器）
9、Menlo Micro
Menlo Micro成立于2016年，是一家從通用電氣（General Electric,GE）獨立出來的公司，致力于為磁共振成像（MRI）和其它醫(yī)療設(shè)備開發(fā)可靠、安全的功率開關(guān)。
Menlo Micro的6通道單刀單擲（SPST）機械開關(guān)（來源：Menlo Micro）
Menlo Micro注意到傳統(tǒng)的機電開關(guān)技術(shù)幾乎沒有創(chuàng)新，因此開發(fā)獨特的材料，設(shè)計和加工技術(shù)，以構(gòu)建增強型電子開關(guān)，該開關(guān)可以應(yīng)對必須持續(xù)數(shù)十年的高溫和高應(yīng)力條件。
該公司稱其新開關(guān)“比典型的機械開關(guān)的運行速度快1000倍，可以處理數(shù)百瓦的功率，并且其結(jié)構(gòu)比人的頭發(fā)還小。” Menlo Micro計劃針對其新型數(shù)字微型交換機，針對包括5G網(wǎng)絡(luò)在內(nèi)的移動基礎(chǔ)設(shè)施和工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)市場。
2019年，Menlo Micro發(fā)布了一款采用MEMS技術(shù)制造的新型功率繼電器。這款繼電器的FET與MEMS觸點并聯(lián)。FET可以消除觸點的電弧，因為元件內(nèi)部的控制電路會在觸點斷開后關(guān)閉FET.FET會在觸點閉合之前導(dǎo)通，因此導(dǎo)通時間僅為10μs,與傳統(tǒng)的MEMS開關(guān)相比速度大幅提高。
Menlo Micro由GE Ventures支持，并由Corning Incorporated,Microsemi Corporation和Paladin Capital Group投資。該公司在2016年宣布籌集了1870萬美元。
10、Mistic SAS
Mistic SAS是一家位于法國巴黎的初創(chuàng)公司，致力于為醫(yī)療設(shè)備市場和其他行業(yè)開發(fā)基于鈦的MEMS技術(shù)。
Mistic SAS成立于2016年，從2010年代初開始就利用由學術(shù)和行業(yè)合作伙伴財團領(lǐng)導(dǎo)的研究活動的成果。
Mistic技術(shù)的核心是將半導(dǎo)體納米和微制造技術(shù)轉(zhuǎn)換為鈦基板（“晶圓”）。據(jù)Mistic稱，它能夠提供多功能的鈦基部件，公差低至1μm.
機械和電氣特征是通過使用各種材料的選擇性沉積和蝕刻工藝來實現(xiàn)的。
為了滿足最嚴格的生物相容性要求，使用專有的生物相容性高貴材料對組件進行了微工程處理。它們包括鈦，氧化鈦，氮化鈦，金，鉑和氧化鋁，并可以與客戶指定的任何材料一起使用。
