德州儀器(TI)的DLP® NIR芯片組就是一種久經(jīng)考驗(yàn)的MEMS技術(shù)。這項(xiàng)技術(shù)提供針對(duì)小巧、可編程且高性能光譜分析儀的高保真光調(diào)制。其中,TI DLP2010NIR和DLP4500NIR可實(shí)現(xiàn)令人激動(dòng)的全新波長(zhǎng)控制特性,比如說(shuō)哈達(dá)瑪圖形和旋轉(zhuǎn)掃描動(dòng)態(tài)可編程性。其它新涌現(xiàn)的MEMS技術(shù),其中包括法布里-珀羅干涉儀和邁克爾遜干涉儀,顯示出儀器架構(gòu)簡(jiǎn)化方面的良好發(fā)展前景,不過(guò)仍然面臨著滿足信噪比和分辨率標(biāo)準(zhǔn)等實(shí)驗(yàn)室性能需求的挑戰(zhàn)。
雖然有很多的光譜分析儀架構(gòu)選擇,MEMS技術(shù)的吸引力仍與日俱增。動(dòng)態(tài)可編程性、成本降低、使用單點(diǎn)探測(cè)器,以及免除對(duì)大型移動(dòng)部件的需要只是基于MEMS的架構(gòu)所能提供眾多優(yōu)勢(shì)中的一部分。這些優(yōu)勢(shì),與可靠系統(tǒng)集成組合在一起,在現(xiàn)場(chǎng)部署期間,會(huì)變得更加關(guān)鍵。