國外在該領(lǐng)域?qū)ξ覈M行長期技術(shù)封鎖與產(chǎn)品壟斷,國內(nèi)“得不到”成熟產(chǎn)品、“摸不清”關(guān)鍵技術(shù)，亟需開展應(yīng)用于極端環(huán)境下的柔性高溫溫度傳感器關(guān)鍵技術(shù)研究，推動我國高端裝備制造技術(shù)發(fā)展。

3、面向全國產(chǎn)化應(yīng)用需求的高端壓力傳感器

技術(shù)團隊：西安思微傳感科技有限公司

推薦單位：中國航空學(xué)會

所屬領(lǐng)域：產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)領(lǐng)域

思微科技成立于2021年2月，是航空618所的子公司，思微科技依托于自控所的MEMS工藝制造平臺，以中高端壓力測量為出發(fā)點，旨在打造一家完全自主可控的中高端壓力芯片及傳感器級產(chǎn)品供應(yīng)商，解決核心領(lǐng)域傳感器的需求問題。

本技術(shù)涉及高精度硅諧振壓力傳感器與高溫硅壓阻壓力傳感器兩大系列產(chǎn)品。其中，高精度硅諧振壓力傳感器采用了目前最先進的諧振檢測技術(shù)，通過檢測因應(yīng)力變化而產(chǎn)生的頻率的變化，實現(xiàn)溫度范圍-55℃~ 85℃，全量程綜合精度0.01%FS的產(chǎn)品研制，處于國內(nèi)領(lǐng)先水平。

高溫硅壓阻壓力傳感器采用基于SOI工藝的惠斯通電橋技術(shù)方案，通過檢測電阻阻值變化即可實現(xiàn)壓力的測量。公司已具備從芯片設(shè)計、制作到整表級封裝、測試的全流程能力，目前已實現(xiàn)耐溫200℃的多量程譜系產(chǎn)品。

4、高性能MOEMS晶圓制造技術(shù)

技術(shù)團隊：中國兵器工業(yè)第二一四研究所

推薦單位：中國兵工學(xué)會

所屬領(lǐng)域：產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)領(lǐng)域

高性能MOEMS晶圓制造技術(shù)主要針對準(zhǔn)靜態(tài)MEMS微鏡、MOEMS掃描鏡等MOEMS產(chǎn)品的晶圓制造領(lǐng)域。

中國兵器工業(yè)第二一四研究所突破高性能MOEMS晶圓制造系列關(guān)鍵技術(shù)，多項技術(shù)和產(chǎn)品填補國內(nèi)空白，建立了國際先進、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的垂直不等高驅(qū)動器制備技術(shù)體系，實現(xiàn)了光衰減器、光開關(guān)陣列、可調(diào)光濾波器、MOEMS掃描鏡等產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)。

這些產(chǎn)品是光交叉、智能光束控制和掃描成像的核心芯片，在5G通信、激光雷達(dá)、無人駕駛、智慧工業(yè)等新基建產(chǎn)業(yè)具有廣闊的應(yīng)用前景，是國家發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的重要支撐。

5、全鏈條高溫應(yīng)變傳感器研制-標(biāo)定-檢測-補償技術(shù)

技術(shù)團隊：北京科技大學(xué)

推薦單位：北京市科學(xué)技術(shù)協(xié)會

所屬領(lǐng)域：產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)領(lǐng)域

技術(shù)團隊發(fā)明了全鏈條高溫應(yīng)變傳感器制備-標(biāo)定-檢測-補償成套系統(tǒng)與方法。通過敏感材料細(xì)晶化，提高了高溫應(yīng)變傳感器使用溫度，研制出自由框架絲柵式高溫應(yīng)變傳感器；提出了四點彎等應(yīng)變反饋控制位移、力值加載及智能功率溫度控制方法，開發(fā)了高溫應(yīng)變傳感器特性參數(shù)標(biāo)裝置；提出了溫度參數(shù)對實測應(yīng)變修正補償時變模型，開發(fā)了高溫應(yīng)變精度修正軟件，獨創(chuàng)了高溫應(yīng)變傳感器穩(wěn)定化處理規(guī)范，實現(xiàn)了高溫應(yīng)變高精度測量。

技術(shù)團隊開發(fā)了高溫應(yīng)變傳感器參數(shù)標(biāo)定裝置系列產(chǎn)品,，服務(wù)于多項國家重大儀器設(shè)備開發(fā)專項、國家重點研發(fā)計劃等項目，還為國內(nèi)多家企業(yè)提供了高溫應(yīng)變傳感器標(biāo)定服務(wù)，獲取了應(yīng)變傳感器關(guān)鍵特性參數(shù)。

6、77GHz毫米波雷達(dá)芯片技術(shù)

技術(shù)團隊：中國電子科技集團公司第三十八研究所

推薦單位：中國電子科技集團有限公司

所屬領(lǐng)域：產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)領(lǐng)域

77GHz毫米波雷達(dá)芯片作為汽車?yán)走_(dá)傳感器的核心器件，是國際公認(rèn)的難以攻克的領(lǐng)域，技術(shù)難度高，市場潛力巨大。

中國電子科技集團公司第三十八研究所毫米波雷達(dá)芯片團隊基于硅基工藝，實現(xiàn)毫米波雷達(dá)收發(fā)前端單芯片集成；基于扇出型晶圓級封裝技術(shù)，實現(xiàn)毫米波天線封裝內(nèi)集成；建立毫米波傳感器芯片測試驗證系統(tǒng)，并通過傳感器應(yīng)用驗證，形成一整套解決方案；在項目產(chǎn)品研制及產(chǎn)業(yè)化過程中形成一系列產(chǎn)品及多項相關(guān)技術(shù)成果，推動這些成果在新能源汽車及智能網(wǎng)聯(lián)汽車上的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

7、新一代UWB室內(nèi)高精度感知技術(shù)

技術(shù)團隊：清研訊科（北京）科技有限公司

推薦單位：中國電子學(xué)會

所屬領(lǐng)域：電子信息領(lǐng)域