molbloc-L層流元件模塊
· 量程適用于1sccm至100slm
molbloc-S音速噴嘴模塊
· 量程可達(dá)5000slm,可擴(kuò)展至20000slm
COMPASS?® for Flow
基于 COMPASS for Pressure 軟件平臺,是可定制且啟用了宏的質(zhì)量流量校準(zhǔn)軟件包。
· 可執(zhí)行復(fù)雜的實(shí)時(shí)流量計(jì)算以及根據(jù)數(shù)據(jù)改變測試方案
· 提供測試設(shè)置下的整套裝置、測試設(shè)置和報(bào)告生成工具