分析高壓暗電流過流保護(hù)，故障可能出現(xiàn)在電子槍室、高壓電纜及高壓箱的部件。重點(diǎn)檢查高壓部件及相關(guān)系統(tǒng)部件。
【故障排除】：
檢查電子槍室及高壓箱氟利昂氣體，氣壓正常。斷開高壓電纜與高壓箱的連接，通電發(fā)現(xiàn)暗電流仍然很高，判斷高壓箱存在故障。先檢查高壓箱外圍電路，HT OSC PB高壓發(fā)生器電路板，HT BLC PB高壓保護(hù)電路板，HT STAB PB高壓定值控制電路，由于有高壓存在并能產(chǎn)生自動斷電保護(hù)動作，說明高壓發(fā)生器電路板和高壓保護(hù)電路板能正常工作，出故障概率較小。估計故障多半在高壓定值控制電路板上，拔下HT OSC PB電路板和HT BLC PB電路板插頭，測量HT STAB PB測試點(diǎn)TM4電壓75V異常（正常是120KV時為50.5V），調(diào)節(jié)VR2電壓無變化，說明有元件損壞。
關(guān)機(jī)沿TM4電路檢查，發(fā)現(xiàn)TR3有問題，焊下TR3測量b-c極已經(jīng)開路，確認(rèn)TR3已壞，更換同型號三極管，開機(jī)測量TM4電壓恢復(fù)正常，調(diào)節(jié)VR2電壓有變化，TM4電路已修復(fù)。停機(jī)插回HT OSC PB電路板和HT BLC PB電路板插頭，清洗電纜接頭烘干重新安裝好，開機(jī)試驗(yàn)暗電流正常，接通燈絲電源，光束良好，說明高壓電纜和電子槍室完好，故障排除，儀器恢復(fù)正常運(yùn)行。
故障六（JEM-1200EX）
【故障現(xiàn)象】：
電子束流不穩(wěn)定，在80KV電子束流增加到73μA（暗電流為46μA），工作兩小時后束流下降至58μA（暗電流仍為46μA），同時亮度變暗。
【故障分析】：
該故障涉及控制單元及電路較多，分析由于電子束工作不穩(wěn)定，重點(diǎn)在電源、高壓及燈絲電路單元。
【故障排除】：
拔出高壓電纜與鏡筒連接一端，將1歐電阻模擬燈絲等效電阻與串接電流表到高壓電纜末端組成回路，（注：此時LEN POWER SUPPLY ON，按下HT鍵，HT顯示為00，順時針調(diào)節(jié)FILAMENT旋鈕到底。）剛接通時電流表指示為3.317A（正常為3.4A～4A）偏低，5分鐘后上升至3.36A，此后慢慢下降，30分鐘后降至3.298A。說明燈絲電流偏低且不穩(wěn)定，仔細(xì)檢查發(fā)現(xiàn)HT單元高壓調(diào)整管、功率放大管TR1～TR5和燈絲單元供電三極管TR8、TR9管都發(fā)熱較高，檢查HT OSC PB的高頻大功率三極管TR10、TR11也發(fā)熱嚴(yán)重。由于檢查元件較多，采用替換法逐個替換試驗(yàn)，當(dāng)更換高頻大功率三極管TR10、TR11后，電子束流恢復(fù)穩(wěn)定，故障排除，儀器恢復(fù)正常工作。
小結(jié)：故障原因是功率三極管熱穩(wěn)定性不佳，導(dǎo)致電子束流不穩(wěn)定。 在不確定某個元件出故障時，可采用替換法試驗(yàn)，逐步排除故障元件，操作雖然麻煩一些，但這種維修方法是可行的。
故障七（JEM-1200EX）
【故障現(xiàn)象】：
電鏡燈絲不加熱。表現(xiàn)為高壓正常，調(diào)節(jié)FILAMENT旋鈕束流顯示不變。
【故障分析】：
燈絲不加熱，分析重點(diǎn)在燈絲電路系統(tǒng)，燈絲電路由燈絲變壓器，燈絲供電電源，電源振蕩器，功率放大器，電源過濾器組成。
【故障排除】：
檢查燈絲高壓電纜未發(fā)現(xiàn)接觸不良，旋轉(zhuǎn)FILAMENT旋鈕時，測HT OCS PB的PS端電壓隨之改變正常，測高頻振蕩器輸出有矩形（1/2占空比）振蕩脈沖正常，檢查發(fā)現(xiàn)功率放大器三極管集電極散熱器固定螺絲松動了，繼續(xù)檢查發(fā)現(xiàn)高壓箱內(nèi)二級濾波電阻及電容固定螺絲也松動了，將所有松動螺絲擰緊，開機(jī)調(diào)節(jié)FILAMENT旋鈕束電流隨之變化，故障排除儀器恢復(fù)正常工作。
小結(jié)：由于儀器長期工作內(nèi)部發(fā)熱受熱脹冷縮影響，導(dǎo)致固定螺絲松動造成接觸不良，儀器無法正常工作。所以說儀器散熱是個值得思考的問題。
故障八（JEM-2000EX）
【故障現(xiàn)象】：
電鏡供電電壓偏高，穩(wěn)壓電源輸出無法調(diào)節(jié)，處于失控狀態(tài)。
【故障分析】：
分析電鏡工作電源不穩(wěn)，重點(diǎn)在交流穩(wěn)壓器供電系統(tǒng)。
【故障排除】：
檢測外部供電電源220VAC正常，測交流穩(wěn)壓器輸出電壓250VAC，偏高而且不可調(diào)，說明故障在穩(wěn)壓器內(nèi)部，打開穩(wěn)壓器發(fā)現(xiàn)伺服電機(jī)發(fā)熱，轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)被卡死，拆掉電機(jī)檢查發(fā)現(xiàn)電機(jī)有一端油封軸承磨壞，更換新軸承后電機(jī)修復(fù)，獨(dú)立通電檢查電機(jī)運(yùn)行良好。裝回電機(jī)通電發(fā)現(xiàn)只能朝電壓上升方向轉(zhuǎn)動，電壓下降方向轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)打滑空轉(zhuǎn)。
拆下整套轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)為四級減速三齒輪構(gòu)成，三個齒輪由兩塊銅夾板固定，檢查支撐三個齒輪轉(zhuǎn)動軸的三對孔變形，齒輪咬合產(chǎn)生松動，當(dāng)電壓上升時齒輪軸心位置正常，電壓下降時齒輪軸心產(chǎn)生偏心，導(dǎo)致只能上升不能下降故障。
因整套機(jī)構(gòu)更新價格昂貴不合算，決定自行修理，用高分子材料和高級金屬固化膠將三個變形孔填補(bǔ)，待干燥凝固后重新打孔，再安裝好固定銅夾板，復(fù)原轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，通電穩(wěn)壓器輸出電壓正常且可調(diào)，將電壓調(diào)至220VAC，輸出電壓穩(wěn)定不變，到此穩(wěn)壓電源故障排除恢復(fù)正常工作。
小結(jié)：電鏡安裝時間較長，電網(wǎng)電壓不穩(wěn)定，穩(wěn)壓器長期頻繁運(yùn)行，機(jī)械磨損嚴(yán)重，導(dǎo)致失控故障。
故障九（JEM-2000EX）
【故障現(xiàn)象】：
電鏡工作時經(jīng)常出現(xiàn)電子束閃動，在120KV下也時常出現(xiàn)閃動，暗電流68μA偏大，隨著電壓升高至160KV時閃動加劇，高壓跳閘保護(hù)停機(jī)。
【故障分析】：
分析故障可能有：電子槍文氏帽和陽極存在污染放電，高壓箱內(nèi)部某部件放電，燈絲電路及加速管電路故障等。
【故障排除】：
