圖像測量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

1、CCD傳感器技術(shù)

物體三維輪廓測量方法中，有三坐標(biāo)法、干涉法、穆爾等高線法及相位法等。而非接觸電荷耦合器件CCD是近年來發(fā)展很快的一種圖像信息傳感器。它具有自掃描、光電靈敏度高、幾何尺寸精確及敏感單元尺寸小等優(yōu)點(diǎn)。隨著集成度的不斷提高、結(jié)構(gòu)改善及材料質(zhì)量的提高，它已日益廣泛地應(yīng)用于工業(yè)非接觸圖像識(shí)別測量系統(tǒng)中。

在對物體三維輪廓尺寸進(jìn)行檢測時(shí)，采用軟件或硬件的方法，如解調(diào)法、多項(xiàng)式插值函數(shù)法及概率統(tǒng)計(jì)法等，測量系統(tǒng)分辨率可達(dá)微米級。也有將CCD應(yīng)用于測量半導(dǎo)體材料表面應(yīng)力的研究。

2、照相技術(shù)

全息照相測量技術(shù)是60年代發(fā)展起來的一種新技術(shù)，用此技術(shù)可以觀察到被測物體的空間像。激光具有極好的空間相干性和時(shí)間相干性，通過光波的干涉把經(jīng)物體反射或透射后，光束中的振幅與相位信息。

超精密測量技術(shù)所代表的測量技術(shù)在國防、航天、航空、航海、鐵道、機(jī)械、輕工、化工、電子、電力、電信、鋼鐵、石油、礦山、煤炭、地質(zhì)、勘側(cè)等領(lǐng)域有極其廣泛的應(yīng)用，在國民經(jīng)濟(jì)建設(shè)中占有重要的地位。在發(fā)展高端裝備制造業(yè)的背景下，提高我國在超精密測量方面的科研實(shí)力和技術(shù)水平，成為不得不解決的迫切問題。