此次檢測測試出三條熱阻曲線。由于三次測試的芯片是一樣的,因此在結(jié)構(gòu)函數(shù)中表征芯片部分的曲線是完全重合在一起的。隨著固晶層損傷程度的增加,該結(jié)構(gòu)層的熱阻逐漸變大。這是由于空洞阻塞了有效的散熱通道造成的。
根據(jù)測試結(jié)果,不僅可以定性地找出存在缺陷的結(jié)構(gòu),而且還能定量得到缺陷引起的熱阻的變化量。
5.老化試驗表征手段:
下圖為一個高溫高濕老化案例中同一樣品不同時期的熱阻曲線。
老化前后,從芯片后波峰的移動可以清晰地看出由于老化造成的分層,導(dǎo)致了芯片粘結(jié)層的熱阻增大。對樣品不同階段的熱阻測試,可得到每層結(jié)構(gòu)的熱阻變化,根據(jù)變化分析老化機理,從而改善產(chǎn)品散熱性能。