觀察圖像樣品應預先噴金膜。一般情況下，樣品盡量小塊些 (≤10×10×5 mm 較方便)。粉末樣品每個需1克左右。納米樣品一般需超聲波分散，并噴涂超細微金膜。
掃描電子顯微鏡-X射線能譜儀
送檢樣品必須為干燥固體，塊狀、片狀、纖維狀、顆?；蚍勰罹?。應有一定的化學、物理穩(wěn)定性，在真空中及電子束轟擊下不會揮發(fā)或變形；無磁性、放射性和腐蝕性。
對含水份較多的生物軟組織樣品，要求預先進行臨界點干燥前的固定、清洗、脫水及用醋酸（異）戊酯置換等處理。最后進行臨界點干燥處理。圖像觀察樣品應預先鍍金膜，成份分析樣品必需鍍碳膜。一般情況下,樣品體積不宜太大（≤5×5×2 mm較適合）。
電子探針
定量分析的樣品必須磨平拋光、清洗干凈。若樣品不能進行表面磨平拋光（將影響分析精度）處理應事先說明。為測試方便和節(jié)約機時，樣品應先切成小薄片，不能切割制樣，必須先與測試人員商量。應先標記好分析面上的測試點，無標記測試位置時，測試時只選有代表性、較平整位置測試。
液體樣必須先濃縮干燥。分析的樣品必須是在高能電子轟擊下物理和化學性能穩(wěn)定的固體、不分解、不爆炸、不揮發(fā)、無放射性、無磁性。送樣時最好注明樣品可能包含什么元素。樣品必須噴涂一層碳膜。
