非集成化智能傳感器,也叫傳感器的智能化,指將傳統(tǒng)的傳感器(采用非集成化工藝制成的)與信號(hào)處理電路、帶數(shù)據(jù)總線接口的微處理器組合在一起而構(gòu)成的智能傳感器。因?yàn)槭窃趥鹘y(tǒng)傳感器后經(jīng)信號(hào)處理電路及有數(shù)據(jù)總線接口的微處理器而構(gòu)成,所以集成度較低,技術(shù)壁壘低,不適用于微型化產(chǎn)品領(lǐng)域,不屬于新型智能傳感器。
混合式智能傳感器
混合式智能傳感器指根據(jù)需求,將系統(tǒng)各集成化環(huán)節(jié)(敏感元件、信號(hào)調(diào)理電路、數(shù)字總線接口)以不同組合方式集成在不同的芯片上,并封裝在一個(gè)外殼內(nèi),是智能傳感器的主要種類,被廣泛應(yīng)用。
集成智能傳感器
集成化智能傳感器指利用集成電路工藝和MEMS微機(jī)技術(shù)將傳感器敏感元件、信號(hào)調(diào)理電路、數(shù)字總線接口等系統(tǒng)模塊集成到一芯片上,封裝在一個(gè)外殼內(nèi)的傳感器。它內(nèi)嵌了標(biāo)準(zhǔn)的通信協(xié)議和標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字接口,使用傳感器具有信號(hào)提取、信號(hào)處理、雙向通信、邏輯判斷和計(jì)算等多種功能。
集成智能傳感器是21世紀(jì)最具代表性的高新技術(shù)成果之一,也是當(dāng)今國(guó)際科技界研究的熱點(diǎn)。隨著微電子技術(shù)的飛速發(fā)展和微米、納米技術(shù)的問(wèn)世,大規(guī)模集成電路工藝日臻完善,集成電路的集成度越來(lái)越高。集成智能傳感器現(xiàn)已成功使各種數(shù)字電路芯片、模擬電路芯片、微處理器芯片和存儲(chǔ)電路芯片等芯片的價(jià)格大幅下降,促進(jìn)了集成智能傳感器的落地應(yīng)用。
MEMS傳感器是目前智能化程度最高的傳感器。MEMS技術(shù)是在傳統(tǒng)半導(dǎo)體材料和工藝基礎(chǔ)上,微米操作范圍內(nèi),將在一個(gè)硅片基礎(chǔ)上將傳感器、機(jī)械元件、致動(dòng)器與電子元件結(jié)合在一起的技術(shù),是目前前沿微型傳感器的主流方案。
集成智能傳感器具有多功能、一體化、精度高、適宜于大批量生產(chǎn)、體積小和便于使用等優(yōu)點(diǎn),是未來(lái)智能傳感器繼續(xù)發(fā)展的方向。
除了以上三種主流的實(shí)現(xiàn)途徑外,智能傳感器在技術(shù)上,還有以下5種實(shí)現(xiàn)途徑。
①采用新的檢測(cè)原理和結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。通過(guò)微機(jī)械精細(xì)加工工藝設(shè)計(jì)新型構(gòu),使之能真實(shí)反映實(shí)測(cè)對(duì)象的完整信息,例如3D加速度傳感器和3D軸陀螺儀就是利用這種方式實(shí)現(xiàn)傳感器智能化。
②應(yīng)用人工智能材料實(shí)現(xiàn)。利用人工智能材料的自適應(yīng)、自診斷、自完善、自調(diào)節(jié)、自修復(fù)和自學(xué)習(xí)的特性,制造智能傳感器,例如半導(dǎo)體陶瓷、記憶合金、氧化物薄膜等人工智能材料。
③采用軟件化技術(shù)實(shí)現(xiàn)。傳感器和微處理器相結(jié)合的智能傳感器,利用計(jì)算機(jī)軟件編程的優(yōu)勢(shì),實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)的信息處理功能。比如運(yùn)用軟件計(jì)算實(shí)現(xiàn)非線性校正、自補(bǔ)償、自校準(zhǔn),提高傳感器的精度;用軟件實(shí)現(xiàn)信號(hào)濾波,簡(jiǎn)化硬件、提高信噪比;運(yùn)用人工智能、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)、模糊理論等,使傳感器具有更高智能即分析、判斷、自學(xué)習(xí)等功能。
④通過(guò)多傳感器信息融合技術(shù)實(shí)現(xiàn)。多傳感器系統(tǒng)通過(guò)多個(gè)傳感器獲得更多種類和數(shù)量的傳感數(shù)據(jù),經(jīng)過(guò)處理得到多種信息,從而對(duì)環(huán)境進(jìn)行更加全面和準(zhǔn)確的描述。
⑤通過(guò)網(wǎng)絡(luò)化實(shí)現(xiàn)。智能傳感器與通信網(wǎng)絡(luò)技術(shù)相結(jié)合,可形成網(wǎng)絡(luò)化智能傳感器。網(wǎng)絡(luò)化傳感器使傳感器由單一功能、單一檢測(cè)向多功能和多點(diǎn)檢測(cè)發(fā)展;從被動(dòng)檢測(cè)向主動(dòng)進(jìn)行信息處理方向發(fā)展;從就地測(cè)量向遠(yuǎn)距離實(shí)時(shí)在線測(cè)控發(fā)展。