多年來，體聲波濾波器（BAW）一直引領著移動通信中高頻段射頻（RF）濾波器技術。如今，新興的薄膜聲表面波濾波器（TF-SAW）技術可能會擾亂這個市場。正如Yole在報告表示，相比傳統(tǒng)的SAW濾波器和溫度補償（TC-SAW）濾波器，新興的TF-SAW技術具有一些優(yōu)勢，而且成本也低于BAW濾波器。TF-SAW濾波器能提供相對較大的帶寬，同時提供良好的溫度補償性能和多頻帶集成的有效路徑。村田已憑借其集成2.4 GHz Wi-Fi濾波器、雙工器B25、四工器B25-B66的高性能（IHP）SAW濾波器設計，贏得了設計大獎。System Plus Consulting在報告中分析了這款IHP SAW濾波器，首次對這種具有發(fā)展前景的TF-SAW技術進行了成本估算。我們發(fā)現(xiàn)鍵合設備供應商在工程襯底（engineered substrate）中扮演了關鍵角色，其中EV集團（以下簡稱：EVG）則是該領域的領先廠商。Yole分析師Cedric Malaquin和System Plus Consulting分析師Stephane Elisabeth采訪了EVG產(chǎn)品營銷經(jīng)理Elisabeth Brandl，對射頻（RF）濾波器發(fā)展進行了探討。

成本分析：IHP SAW濾波器 vs. BAW濾波器（包括FBAR和SMR）

Cedric Malaquin（以下簡稱：CM）：首先請您向大家介紹EVG的行業(yè)地位和企業(yè)使命，謝謝！

Elisabeth Brandl（以下簡稱EB）：EVG是半導體和MEMS行業(yè)的優(yōu)秀供應商。我們不僅提供半導體設備，還能夠根據(jù)市場需求對設備進行調(diào)整以提供完整的解決方案。EVG的愿景是率先探索新技術并服務于微米和納米加工技術的下一代應用，從而使客戶成功地將新產(chǎn)品創(chuàng)意變?yōu)楝F(xiàn)實。我們提供鍵合和光刻等不同工藝設備以及寬敞的潔凈室，讓客戶獲得從頭開發(fā)工藝并嘗試新想法的機會。EVG這種模式充當了創(chuàng)新孵化器的角色，通過再建立新的潔凈室，我們將進一步加強工藝開發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)能力。

Stephane Elisabeth（以下簡稱：SE）：聚焦于射頻濾波器業(yè)務，TC-SAW濾波器市場不斷增長，TF-SAW濾波器（如IHP-SAW濾波器）時代也將到來。您能否談談EVG在推動上述市場方面所做的貢獻？

EB：隨著5G的推出，射頻濾波器面臨著新的挑戰(zhàn)。對耦合質(zhì)量、頻率精度的要求越來越嚴格，對反射率的要求提高。此外，由于頻譜擁擠對頻率波動的影響越來越嚴重，頻率對溫度的依賴性也顯得尤為關鍵。

盡管結構特殊，但SAW濾波器具有工作在更高頻段的潛力。晶圓鍵合滿足SAW濾波器對多層結構的需求，從而滿足5G的新要求并實現(xiàn)更高的工作頻率。在5G應用中，將鉭酸鋰（LTO）或鈮酸鋰（LNO）制造的壓電SAW濾波器晶圓與接收晶圓鍵合在一起。這些接收晶圓要么由被定義了聲學特性的幾層結構組成，要么是堅硬的襯底以降低壓電LTO和LNO晶圓的熱膨脹系數(shù)（CTE），因而獲得更穩(wěn)定的溫度特性。

 5G高性能SAW濾波器的關鍵襯底

除鍵合外，EVG還提供量測技術，可測量鍵合堆疊中的薄膜厚度或晶圓對準情況。光刻技術（例如涂膠、顯影、掩模版對準、壓印或最新的無掩模版曝光光刻）完善了我們的產(chǎn)品組合。

CM：IDM廠商是濾波器業(yè)務的主導者。但是，無晶圓廠（Fabless）設計公司正在對射頻濾波器進行投入，并與濾波器代工廠和襯底供應商合作，試圖進入該產(chǎn)業(yè)鏈。在該生態(tài)系統(tǒng)中，您認為哪種模式的廠商最容易抓住TC-SAW和TF-SAW商機？

EB：智能手機OEM廠商是射頻前端模組和SAW分立器件的重要客戶之一。所采用的集成戰(zhàn)略正從采購射頻模組轉向為特定產(chǎn)品定制射頻模組。因此，供應鏈正在悄然發(fā)生變化，一些分立器件制造商也開始制造模組，代工廠的角色變得越來越重要；誰掌握了射頻模組所有相關元器件，誰就變得越來越強大。因此，LTO和LNO襯底的直接鍵合被用于制造SAW濾波器裸片。EVG看到了與SAW濾波器制造商及其供應商（包括襯底制造商、晶體生長商等）合作的機會。

除了頂級的SAW濾波器廠商以外，我們還對中國TF-SAW濾波器產(chǎn)業(yè)有濃厚的興趣，因為該技術將在中國5G產(chǎn)業(yè)中發(fā)揮著重要作用。隨著對SAW濾波器需求的增加，所有相關領域都會隨之增長。