成立一年半,九峰山實(shí)驗(yàn)室吸引了近30家半導(dǎo)體鏈條企業(yè)比鄰而居,總估值超百億元,培育半導(dǎo)體領(lǐng)域人才超3萬人,一批先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)的破局者在武漢涌現(xiàn)。
2023年3月,聚焦化合物半導(dǎo)體研發(fā)與創(chuàng)新的湖北九峰山實(shí)驗(yàn)室正式投入運(yùn)營。
運(yùn)行一年來,九峰山實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)了8寸中試線通線運(yùn)行,首批晶圓(高精密光柵)成功下線,填補(bǔ)了國內(nèi)高線密度、超高折射率、非周期性高精密光柵生產(chǎn)工藝空白。
全球首片8寸硅光薄膜鈮酸鋰光電集成晶圓也于今年3月成功下線,可實(shí)現(xiàn)超低損耗、超高帶寬的高端光芯片規(guī)模制造,為目前全球綜合性能最優(yōu)的光電集成芯片。
除自身不斷創(chuàng)新突破外,作為國內(nèi)為數(shù)不多的公共、開放、中立、共享的科研平臺(tái),九峰山實(shí)驗(yàn)室還與產(chǎn)業(yè)鏈各龍頭企業(yè)通力合作,以“用”為導(dǎo)向,布局開發(fā)共性技術(shù),推進(jìn)國產(chǎn)半導(dǎo)體材料、設(shè)備的驗(yàn)證工作,打造化合物半導(dǎo)體中試平臺(tái)。
在九峰山實(shí)驗(yàn)室,9000平方米的潔凈室內(nèi),有上百個(gè)項(xiàng)目在同時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn),實(shí)驗(yàn)室內(nèi)隨處可見科研人員與產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)聯(lián)合研發(fā)的身影。
上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司研發(fā)的刻蝕、薄膜沉積設(shè)備,在九峰山實(shí)驗(yàn)室的助推下,實(shí)現(xiàn)多款設(shè)備的量產(chǎn)。
武漢驛天諾科技有限公司與九峰山實(shí)驗(yàn)室合作開發(fā)的硅光及三代半導(dǎo)體晶圓級(jí)、芯片級(jí)、器件級(jí)封測裝備,測試精度達(dá)到微米級(jí)。
華工科技研制的首套高端半導(dǎo)體晶圓激光切割系列裝備借助九峰山實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)通過了中試驗(yàn)證,獲取測試報(bào)告的設(shè)備已成功導(dǎo)入下游企業(yè)。
九峰山實(shí)驗(yàn)室有關(guān)負(fù)責(zé)人表示,我們希望與更多合作伙伴共同點(diǎn)亮化合物半導(dǎo)體平臺(tái)、技術(shù)、產(chǎn)業(yè)的“燈塔”,為未來3~10年的技術(shù)難題進(jìn)行前沿探索和技術(shù)攻關(guān),打通全產(chǎn)業(yè)鏈條中的“斷點(diǎn)”,拉平產(chǎn)學(xué)研融合發(fā)展的鴻溝,引領(lǐng)全球化合物半導(dǎo)體技術(shù)進(jìn)步。
與九峰山實(shí)驗(yàn)室一街之隔的九峰山科技園正火熱建設(shè),將構(gòu)建從設(shè)備、材料、設(shè)計(jì)到器件、封裝等的全產(chǎn)業(yè)鏈體系,形成創(chuàng)新活躍、要素齊全、開放協(xié)同的產(chǎn)業(yè)生態(tài)。
驛天諾科技有限公司董事長單娜表示,在九峰山實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)的引薦下,公司已經(jīng)拓展了一批新客戶,獲得了一批訂單,下一步還會(huì)入駐九峰山科技園區(qū),進(jìn)一步擴(kuò)大經(jīng)營規(guī)模。
九峰山實(shí)驗(yàn)室周邊已聚集了近30家化合物半導(dǎo)體龍頭企業(yè)和創(chuàng)新型中小企業(yè),到2025年,這里將聚集產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)100家以上,培育1到2家細(xì)分領(lǐng)域龍頭企業(yè),在存儲(chǔ)、化合物半導(dǎo)體、傳感器、先進(jìn)封裝等細(xì)分領(lǐng)域打造一批創(chuàng)新產(chǎn)品,形成化合物半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)生態(tài)。
在中國工程院院士、國家新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展專家咨詢委員會(huì)主任干勇看來,我國已形成化合物半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈,這將擺脫對(duì)高精度光刻機(jī)為代表的先進(jìn)加工設(shè)備的依賴,有望在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局中找到超車突破口。